微坑阵列掩膜电解加工试验研究
| 摘要 | 第9-11页 |
| Abstract | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 表面织构的提出与应用 | 第13页 |
| 1.2 表面织构加工技术研究现状 | 第13-23页 |
| 1.2.1 机械加工方法 | 第13-15页 |
| 1.2.2 激光加工方法 | 第15-17页 |
| 1.2.3 电火花加工方法 | 第17-19页 |
| 1.2.4 超声加工方法 | 第19-20页 |
| 1.2.5 电解加工方法 | 第20-23页 |
| 1.3 课题来源,研究意义,研究内容 | 第23-25页 |
| 1.3.1 课题来源及研究意义 | 第23-24页 |
| 1.3.2 本文研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 电解加工理论基础以及试验设备 | 第25-43页 |
| 2.1 电解定律 | 第25-27页 |
| 2.1.1 法拉第第一定律 | 第25页 |
| 2.1.2 法拉第第二定律 | 第25-26页 |
| 2.1.3 电流效率 | 第26-27页 |
| 2.2 微坑阵列电解加工技术 | 第27-30页 |
| 2.2.1 光刻电解加工技术 | 第27-28页 |
| 2.2.2 电解转印加工技术 | 第28-29页 |
| 2.2.3 活动模板电解加工技术 | 第29-30页 |
| 2.3 试验装置 | 第30-35页 |
| 2.3.1 工作箱与电极设计 | 第30-31页 |
| 2.3.2 工作电源与电解液循环泵选型 | 第31-33页 |
| 2.3.3 电解液配制与电导率测量 | 第33-35页 |
| 2.4 夹具的优化设计 | 第35-40页 |
| 2.4.1 夹具的设计要求 | 第35页 |
| 2.4.2 初步设计方案 | 第35-37页 |
| 2.4.3 夹具内流场分析优化 | 第37-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-43页 |
| 第三章 掩膜电解多物理场耦合仿真 | 第43-61页 |
| 3.1 多物理场耦合理论模型 | 第43-47页 |
| 3.1.1 流场模型 | 第43-44页 |
| 3.1.2 温度场模型 | 第44-45页 |
| 3.1.3 电场以及移动网格模型 | 第45-46页 |
| 3.1.4 耦合方式分析 | 第46-47页 |
| 3.2 单个微坑成形仿真分析 | 第47-49页 |
| 3.2.1 几何模型 | 第48页 |
| 3.2.2 边界条件设置 | 第48-49页 |
| 3.3 单个微坑仿真结果分析 | 第49-55页 |
| 3.3.1 加工电压与加工时间对行貌的影响 | 第50-53页 |
| 3.3.2 加工间隙内温度分布 | 第53-55页 |
| 3.4 群坑仿真边缘效应分析 | 第55-58页 |
| 3.4.1 建模与初步分析 | 第55-56页 |
| 3.4.2 阵列尺寸优化 | 第56-58页 |
| 3.5 仿真验证 | 第58-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 微坑阵列电解加工试验 | 第61-79页 |
| 4.1 掩膜电解工艺流程 | 第61-64页 |
| 4.2 孔质量评价标准 | 第64-66页 |
| 4.2.1 评价指标 | 第64-65页 |
| 4.2.2 取样指标 | 第65-66页 |
| 4.3 普通直流电参数对加工结果的影响 | 第66-71页 |
| 4.3.1 加工时间对结果的影响 | 第66-69页 |
| 4.3.2 加工电压对结果的影响 | 第69-71页 |
| 4.4 脉冲电源对结果的影响 | 第71-75页 |
| 4.4.1 占空比对结果的影响 | 第72-73页 |
| 4.4.2 脉冲频率对结果的影响 | 第73-75页 |
| 4.5 掩膜孔直径对结果的影响 | 第75-76页 |
| 4.6 参数优选与异形坑的加工 | 第76-77页 |
| 4.7 本章小结 | 第77-79页 |
| 第五章 总结 | 第79-81页 |
| 5.1 研究总结 | 第79页 |
| 5.2 本文不足之处与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
