| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 1 绪论 | 第6-12页 |
| 1.1 研究背景及现状 | 第6-7页 |
| 1.2 国内外相关研究概况及发展趋势 | 第7-9页 |
| 1.2.1 国外相关研究概况 | 第7-8页 |
| 1.2.2 国内相关研究概况 | 第8-9页 |
| 1.2.3 检测现状及需求 | 第9页 |
| 1.3 研究的目标 | 第9页 |
| 1.4 研究思想及需求分析 | 第9-12页 |
| 2 圆分度标准装置机构的设计和开发 | 第12-43页 |
| 2.1 圆分度标准装置角度测量系统原理的研究 | 第13-15页 |
| 2.1.1 圆光栅及其测量原理 | 第13-14页 |
| 2.1.2 电子细分原理 | 第14-15页 |
| 2.2 高精度密珠轴系的设计和开发 | 第15-16页 |
| 2.2.1 设计原则与方案 | 第15-16页 |
| 2.2.2 安装与调试 | 第16页 |
| 2.3 基于FPGA的交流伺服电机控制器的设计和开发 | 第16-19页 |
| 2.3.1 伺服电机控制器的设计 | 第16-17页 |
| 2.3.2 控制电路的设计方案 | 第17-19页 |
| 2.4 测角系统的设计和开发 | 第19-37页 |
| 2.4.1 基准光栅设计 | 第21-22页 |
| 2.4.2 指示光栅设计 | 第22-24页 |
| 2.4.3 多头圆光栅读数系统硬件和软件的设计 | 第24-37页 |
| 2.5 圆感应同步器检测电路设计和开发 | 第37-40页 |
| 2.5.1 零位测试线路设计 | 第37页 |
| 2.5.2 细分误差测试线路设计 | 第37-40页 |
| 2.6 圆光栅刻制装置的设计和开发 | 第40-42页 |
| 2.6.1 光刻刀架的设计开发 | 第40-41页 |
| 2.6.2 光刻电源及控制 | 第41-42页 |
| 2.6.3 光刻圆光栅直流电平的控制 | 第42页 |
| 2.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 3 圆分度标准装置精度分析与测量 | 第43-49页 |
| 3.1 密珠轴系径向跳动量测量 | 第43-45页 |
| 3.1.1 测量原理 | 第43页 |
| 3.1.2 测量步骤及其数据处理 | 第43-45页 |
| 3.2 圆分度标准装置圆分度误差实例验证 | 第45-47页 |
| 3.2.1 测量原理 | 第45页 |
| 3.2.2 测量步骤及其数据处理 | 第45-47页 |
| 3.3 多头读数系统的验证 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 圆分度标准装置多功能应用的研究 | 第49-53页 |
| 4.1 感应同步器的测量 | 第49-50页 |
| 4.1.1 测量原理 | 第49页 |
| 4.1.2 测量方法 | 第49-50页 |
| 4.2 圆光栅的刻制 | 第50-52页 |
| 4.2.1 大功率曝光法刻制 | 第51-52页 |
| 4.2.2 重复曝光法刻制 | 第52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 圆分度标准装置测量的实例分析 | 第53-57页 |
| 5.1 测量原理及计量特性 | 第53-54页 |
| 5.2 测量步骤与测量数据分析 | 第54-56页 |
| 5.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |