基于PIN探测器的InP微透镜阵列研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 微透镜阵列及其应用 | 第9-13页 |
| 1.2 微透镜阵列的制作方法 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文主要研究内容及创新点 | 第14-16页 |
| 2 聚光微透镜阵列PIN探测器 | 第16-31页 |
| 2.1 聚光微透镜阵列PIN探测器原理 | 第16-22页 |
| 2.2 微透镜阵列设计 | 第22-26页 |
| 2.3 微透镜阵列的光能利用率 | 第26-27页 |
| 2.4 矩形孔径球面微透镜面型函数 | 第27-28页 |
| 2.5 基于PIN探测器的微透镜阵列设计 | 第28-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 微透镜阵列的制作工艺研究 | 第31-46页 |
| 3.1 光刻热熔工艺 | 第31-35页 |
| 3.2 刻蚀工艺 | 第35-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 工艺难点及创新点 | 第46-58页 |
| 4.1 厚胶光刻及深刻蚀工艺 | 第46-49页 |
| 4.2 针对高填充因子的工艺优化方法 | 第49-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 测试 | 第58-66页 |
| 5.1 微透镜阵列的结构参数测试 | 第58-60页 |
| 5.2 微透镜阵列的光学性能测试 | 第60-62页 |
| 5.3 微透镜阵列填充因子和均匀性测试 | 第62-64页 |
| 5.4 微透镜阵列对PIN探测器的性能提升 | 第64-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 总结和展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
