| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 气敏传感器的种类 | 第9-11页 |
| 1.2.1 半导体气敏传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 热传导式气敏传感器 | 第10页 |
| 1.2.3 催化燃烧式气敏传感器 | 第10页 |
| 1.2.4 电化学气敏传感器 | 第10页 |
| 1.2.5 光学式气敏传感器 | 第10-11页 |
| 1.3 气敏传感器的发展历程 | 第11页 |
| 1.4 气敏传感器的国内外研究状况 | 第11-13页 |
| 1.5 本文研究的内容 | 第13-15页 |
| 第二章 铝掺杂氧化锌气敏材料的制备与表征 | 第15-27页 |
| 2.1 氧化锌材料综述 | 第15-16页 |
| 2.2 氧化锌材料应用 | 第16页 |
| 2.3 氧化锌薄膜制备方法与原理简介 | 第16-18页 |
| 2.3.1 溶胶凝胶法 | 第16-17页 |
| 2.3.2 电化学沉积法 | 第17页 |
| 2.3.3 化学气相沉积法 | 第17-18页 |
| 2.3.4 磁控溅射法 | 第18页 |
| 2.4 本实验气敏薄膜制备与元件制作 | 第18-22页 |
| 2.4.1 实验仪器与试剂 | 第18-19页 |
| 2.4.2 制备工艺 | 第19-21页 |
| 2.4.3 厚膜气敏传感器的制备 | 第21-22页 |
| 2.5 材料表征 | 第22-27页 |
| 2.5.1 X射线衍射表征 | 第22-23页 |
| 2.5.2 SEM表征 | 第23-24页 |
| 2.5.3 光谱表征 | 第24页 |
| 2.5.4 气敏测试系统表征 | 第24-27页 |
| 第三章 铝掺杂氧化锌气敏特性分析与讨论 | 第27-43页 |
| 3.1 掺杂量对气敏特性的影响 | 第28-33页 |
| 3.1.1 掺杂量对光谱特性的影响 | 第28-30页 |
| 3.1.2 掺杂量对晶相的影响 | 第30-31页 |
| 3.1.3 掺杂量对微观形貌的影响 | 第31-32页 |
| 3.1.4 掺杂量对灵敏度的影响 | 第32-33页 |
| 3.2 退火温度对气敏特性的影响 | 第33-36页 |
| 3.2.1 退火温度对晶相的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2 退火温度对微观形貌的影响 | 第34-35页 |
| 3.2.3 退火温度对灵敏度的影响 | 第35-36页 |
| 3.3 工作温度对气敏特性的影响 | 第36-38页 |
| 3.4 铝掺杂氧化锌传感器对不同气体的选择性分析 | 第38-39页 |
| 3.5 丙酮浓度对气敏特性的影响 | 第39-40页 |
| 3.6 紫外光与黑暗条件下铝掺杂氧化锌气敏特性对比分析 | 第40-41页 |
| 3.7 气敏稳定性的研究 | 第41-42页 |
| 3.8 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 气敏传感器的工作原理 | 第43-51页 |
| 4.1 气敏机理概论 | 第43-44页 |
| 4.2 光增强气敏性能机理 | 第44-45页 |
| 4.3 本课题气敏机理讨论 | 第45-51页 |
| 4.3.1 气敏反应过程 | 第45-46页 |
| 4.3.2 掺杂影响气敏性能的原理 | 第46-47页 |
| 4.3.3 紫外光激发增强气敏性能原理 | 第47-51页 |
| 第五章 结论 | 第51-53页 |
| 5.1 课题结论 | 第51-52页 |
| 5.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |