| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 微观表面形貌检测方法 | 第7-10页 |
| 1.2.1 微观表面形貌检测的非光学方法 | 第8页 |
| 1.2.2 微观表面形貌检测的光学方法 | 第8-10页 |
| 1.3 干涉显微物镜的国内外发展现状 | 第10-11页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 1.5 课题来源 | 第12-13页 |
| 2 干涉显微物镜的基本结构 | 第13-19页 |
| 2.1 白光干涉仪的基本结构 | 第13页 |
| 2.2 干涉显微物镜的三种结构 | 第13-16页 |
| 2.2.1 Mirau型干涉显微物镜 | 第14页 |
| 2.2.2 Linnik型干涉显微物镜 | 第14-15页 |
| 2.2.3 Michelson型干涉显微物镜 | 第15-16页 |
| 2.3 长工作距干涉显微物镜的设计方案 | 第16-18页 |
| 2.3.1 干涉腔结构对工作距离的影响 | 第16-18页 |
| 2.3.2 长工作距物镜的结构形式 | 第18页 |
| 2.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 3 5倍干涉显微物镜的光学设计 | 第19-30页 |
| 3.1 干涉腔结构形式的选取 | 第19页 |
| 3.2 显微物镜设计中的像差问题 | 第19-20页 |
| 3.3 对称型双胶合结构物镜的物镜方案 | 第20-21页 |
| 3.4 干涉显微物镜的设计 | 第21-26页 |
| 3.4.1 干涉显微物镜光学特性参数的确定 | 第21-23页 |
| 3.4.2 干涉显微物镜的优化设计以及像质评价 | 第23-26页 |
| 3.5 干涉显微物镜的公差分析 | 第26-29页 |
| 3.6 设计结果对比 | 第29页 |
| 3.7 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 干涉显微物镜的机械结构设计与装调 | 第30-47页 |
| 4.1 干涉显微物镜的机械结构设计 | 第30-36页 |
| 4.1.1 显微镜筒的机械结构设计 | 第30-33页 |
| 4.1.2 参考镜筒的机械结构设计 | 第33-34页 |
| 4.1.3 分光镜筒的机械结构设计 | 第34-36页 |
| 4.2 干涉显微物镜的装调 | 第36-44页 |
| 4.2.1 基于反射式中心偏测量仪的显微物镜的装调 | 第36-40页 |
| 4.2.2 基于激光干涉仪的参考平板的装调 | 第40-44页 |
| 4.3 镜头对比实验 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 5 基于白光干涉仪的光学球面粗糙度测量 | 第47-60页 |
| 5.1 表面粗糙度测量原理 | 第47-48页 |
| 5.1.1 表面粗糙度定义 | 第47页 |
| 5.1.2 白光干涉仪测光学球面粗糙度的缺陷 | 第47-48页 |
| 5.2 基于消球处理的光学球面粗糙度测量方法 | 第48-53页 |
| 5.2.1 基于傅里叶变换的形貌轮廓测量方法(FFT) | 第49-50页 |
| 5.2.2 光学球面元件曲率半径检测 | 第50-53页 |
| 5.3 实验处理 | 第53-59页 |
| 5.3.1 曲率半径测量结果 | 第53-56页 |
| 5.3.2 表面粗糙测量实验 | 第56-58页 |
| 5.3.3 结果对比 | 第58-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文总结 | 第60页 |
| 6.2 论文创新点 | 第60页 |
| 6.3 不足与展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66页 |