耦合倍频结构设计与压力传感特性研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 压力传感器概述 | 第12-18页 |
| 1.2.1 压阻式压力传感器 | 第12-14页 |
| 1.2.2 电容式压力传感器 | 第14-15页 |
| 1.2.3 压电式压力传感器 | 第15-16页 |
| 1.2.4 谐振式压力传感器 | 第16-18页 |
| 1.3 微谐振式压力传感器研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 耦合倍频结构压力传感器理论模型建立及分析 | 第21-31页 |
| 2.1 耦合倍频结构压力传感器结构设计 | 第21-22页 |
| 2.2 简化模型理论分析 | 第22-30页 |
| 2.2.1 双端固支矩形梁振动及固有频率分析 | 第22-24页 |
| 2.2.2 等截面悬臂梁振动及固有频率分析 | 第24-26页 |
| 2.2.3 感压膜受力分析 | 第26-28页 |
| 2.2.4 非线性频率倍增机理及传感器灵敏度分析 | 第28-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 耦合倍频结构压力传感器优化设计 | 第31-45页 |
| 3.1 耦合倍频结构压力传感器参数设定 | 第31-36页 |
| 3.1.1 传感器的耦合倍频结构优化设计 | 第31-34页 |
| 3.1.2 感压膜受力变形应力分布 | 第34-36页 |
| 3.2 传感器振动特性研究 | 第36-41页 |
| 3.2.1 耦合倍频结构频率倍增机制探究验证 | 第36-38页 |
| 3.2.2 传感器灵敏度分析 | 第38-41页 |
| 3.3 基于耦合倍频结构的阵列式传感器设计 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 传感器加工工艺 | 第45-57页 |
| 4.1 薄膜工艺 | 第45-50页 |
| 4.1.1 真空蒸镀 | 第46-48页 |
| 4.1.2 溅射镀膜 | 第48-49页 |
| 4.1.3 化学气相沉积(CVD) | 第49-50页 |
| 4.1.4 硅的氧化 | 第50页 |
| 4.2 腐蚀工艺 | 第50-53页 |
| 4.2.1 干法刻蚀 | 第51页 |
| 4.2.2 体硅腐蚀技术 | 第51-53页 |
| 4.3 牺牲层技术 | 第53-54页 |
| 4.4 氮化硅梁压力传感器加工 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 传感器测试系统及实验 | 第57-71页 |
| 5.1 传感器信号测试系统设计 | 第57-58页 |
| 5.2 耦合倍频结构压力传感器实验设计 | 第58-62页 |
| 5.2.1 传感器实验平台的搭建 | 第58-59页 |
| 5.2.2 主要测试设备选用 | 第59-61页 |
| 5.2.3 传感器实验装置设计 | 第61-62页 |
| 5.3 耦合倍频结构压力传感器性能测试实验 | 第62-70页 |
| 5.3.1 非线性频率倍增验证实验 | 第62-64页 |
| 5.3.2 谐振梁位移测量实验 | 第64-65页 |
| 5.3.3 传感器灵敏度测试与分析 | 第65-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第6章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
