深紫外宽光谱成像椭偏仪的研制
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第16-22页 |
| 1.1 概述 | 第16-19页 |
| 1.1.1 研究背景与意义 | 第16-18页 |
| 1.1.2 成像椭圆偏振术 | 第18-19页 |
| 1.2 成像椭偏技术的现状与发展 | 第19-21页 |
| 1.2.1 椭偏技术的发展历史 | 第19-20页 |
| 1.2.2 成像椭偏技术的现状 | 第20-21页 |
| 1.3 本论文主要工作 | 第21-22页 |
| 第2章 成像椭偏装置的理论 | 第22-36页 |
| 2.1 测量的基本理论 | 第22-28页 |
| 2.1.1 椭圆偏振 | 第22-23页 |
| 2.1.2 菲涅耳方程 | 第23-24页 |
| 2.1.3 薄膜中的光学反射模型 | 第24-27页 |
| 2.1.4 椭偏测量术 | 第27-28页 |
| 2.2 系统的设计理论 | 第28-34页 |
| 2.2.1 史托克斯参数与琼斯矢量 | 第28-29页 |
| 2.2.2 琼斯矩阵和穆勒矩阵 | 第29-31页 |
| 2.2.3 偏振光学系统 | 第31-32页 |
| 2.2.4 仪器设计思想 | 第32-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 成像椭偏仪实验系统装置 | 第36-46页 |
| 3.1 系统实验平台 | 第36-41页 |
| 3.1.1 光源 | 第37页 |
| 3.1.2 滤光片 | 第37-38页 |
| 3.1.3 偏振器件 | 第38-39页 |
| 3.1.4 离轴抛物面镜 | 第39页 |
| 3.1.5 CCD探测器 | 第39-41页 |
| 3.2 系统的性能指标 | 第41-45页 |
| 3.2.1 系统的横向分辨率 | 第41-43页 |
| 3.2.2 系统的畸变 | 第43-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 多样品校准方法 | 第46-51页 |
| 4.1 传统校准方法简介 | 第46页 |
| 4.2 成像椭偏的多样品校准方法 | 第46-49页 |
| 4.2.1 多样品校准法原理 | 第46-48页 |
| 4.2.2 多样品校准法分析步骤 | 第48-49页 |
| 4.2.3 多样品校准法的评价函数 | 第49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 成像椭偏系统的校准与测量 | 第51-66页 |
| 5.1 实验方法 | 第51-53页 |
| 5.2 成像椭偏系统的校准 | 第53-56页 |
| 5.3 成像椭偏仪样品的测量 | 第56-61页 |
| 5.4 探测光束光强分布的影响 | 第61-62页 |
| 5.5 系统的软件设计 | 第62-64页 |
| 5.5.1 样品的定位聚焦 | 第63-64页 |
| 5.5.2 图像的采集设置/图像分析区域的选择 | 第64页 |
| 5.5.3 数据的处理和分析 | 第64页 |
| 5.6 本章小结 | 第64-66页 |
| 第6章 超分辨率技术在成像椭偏系统中的研究 | 第66-73页 |
| 6.1 超分率的概念 | 第66-67页 |
| 6.2 超分辨率技术的分类 | 第67-69页 |
| 6.2.1 基于插值的方法 | 第67页 |
| 6.2.2 基于重建的方法 | 第67-68页 |
| 6.2.3 基于学习的方法 | 第68页 |
| 6.2.4 重建图像的质量评价 | 第68-69页 |
| 6.3 超分辨率重构算法的实现 | 第69-71页 |
| 6.3.1 多帧图像超分辨重建算法 | 第69-70页 |
| 6.3.2 基于重构的超分辨算法的测试应用 | 第70-71页 |
| 6.4 本章小结与展望 | 第71-73页 |
| 第7章 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第79页 |
