| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究的目的与意义 | 第9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.4 本文的研究思路和主要研究工作 | 第12-15页 |
| 1.4.1 本文的干涉测量系统 | 第12-13页 |
| 1.4.2 本文的研究思路与主要工作 | 第13-15页 |
| 第2章 表面形貌测量中干涉图像的相位提取算法 | 第15-33页 |
| 2.1 相移干涉理论 | 第15-20页 |
| 2.1.1 光学干涉基本理论 | 第15-16页 |
| 2.1.2 干涉条纹图的形成 | 第16-17页 |
| 2.1.3 相移干涉法的基本原理 | 第17-19页 |
| 2.1.4 相位解包裹算法原理 | 第19-20页 |
| 2.2 基于光学干涉原理的表面形貌测量中的相位提取算法 | 第20-22页 |
| 2.2.1 白光干涉法 | 第20-21页 |
| 2.2.2 波长扫描干涉法 | 第21-22页 |
| 2.2.3 双波长或多波长干涉法 | 第22页 |
| 2.3 基于椭圆拟合的相位提取算法 | 第22-32页 |
| 2.3.1 椭圆的表示方法 | 第22-23页 |
| 2.3.2 最小二乘椭圆拟合方法 | 第23-24页 |
| 2.3.3 干涉图相位提取算法 | 第24-31页 |
| 2.3.4 相位提取精度分析 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 形貌测量中干涉图像的相位识别算法 | 第33-42页 |
| 3.1 多波长干涉原理 | 第33-34页 |
| 3.2 基于相位差大小尺度结合的相位识别算法 | 第34-41页 |
| 3.2.1 相位识别算法 | 第35-40页 |
| 3.2.2 相位识别算法的精度分析 | 第40-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 基于干涉图像的三维表面形貌的重构 | 第42-57页 |
| 4.1 基于干涉图像的三维表面形貌的拼接 | 第42-46页 |
| 4.1.1 图像拼接主要相关技术 | 第42页 |
| 4.1.2 图像拼接基本流程 | 第42-43页 |
| 4.1.3 表面三维形貌的图像拼接 | 第43-46页 |
| 4.2 基于干涉图像的三维重构形貌的噪声及滤波算法 | 第46-51页 |
| 4.2.1 噪声来源 | 第46页 |
| 4.2.2 空域滤波算法 | 第46-49页 |
| 4.2.3 阈值中值滤波算法 | 第49-51页 |
| 4.3 三维形貌的表面参数评定 | 第51-55页 |
| 4.3.1 表面三维形貌评定的主要参数 | 第52页 |
| 4.3.2 表面三维形貌参数的评定方法 | 第52-54页 |
| 4.3.3 样品表面形貌参数的评定 | 第54-55页 |
| 4.3.4 误差来源及分析 | 第55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 总结 | 第57-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录 | 第65-68页 |