| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 从纵向磁记录到垂直磁记录 | 第10-11页 |
| 1.2 垂直磁随机存储器 | 第11-14页 |
| 1.3 垂直磁各向异性 | 第14-16页 |
| 1.4 CoFe基合金薄膜 | 第16-19页 |
| 1.4.1 CoFe基Heusler合金薄膜 | 第17-18页 |
| 1.4.2 CoFe基稀土—过渡族金属合金薄膜 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文的研究内容和章节安排 | 第19-22页 |
| 1.5.1 本论文的研究内容 | 第19-20页 |
| 1.5.2 本论文章节安排 | 第20-22页 |
| 第2章 薄膜的制备及表征 | 第22-29页 |
| 2.1 薄膜制备 | 第22-23页 |
| 2.1.1 磁控溅射原理 | 第22-23页 |
| 2.1.2 溅射工艺条件 | 第23页 |
| 2.2 退火处理 | 第23页 |
| 2.3 薄膜样品磁学性质的测量 | 第23-25页 |
| 2.3.1 振动样品磁强计 | 第23-24页 |
| 2.3.2 反常霍尔效应法 | 第24-25页 |
| 2.3.3 磁光克尔效应法 | 第25页 |
| 2.4 薄膜的结构分析 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-29页 |
| 第3章 Co2FeAl合金薄膜的结构和性能研究 | 第29-43页 |
| 3.1 面内单轴磁各向异性Co2FeAl合金薄膜结构与磁特性的研究 | 第30-35页 |
| 3.2 Co2FeAl合金薄膜垂直磁各向异性的研究 | 第35-40页 |
| 3.2.1 退火温度对垂直磁各向异性的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.2 CFA厚度对薄膜PMA的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.3 界面效应对垂直磁各向异性的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.4 Pd层厚度和MgO层厚度对垂直磁各向异性的影响 | 第39-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-43页 |
| 第4章 垂直GdFeCo合金薄膜的制备及热稳定性研究 | 第43-51页 |
| 4.1 样品制备 | 第43-44页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第44-49页 |
| 4.2.1 溅射功率对GdFeCo薄膜垂直磁各向异性的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.2 GdFeCo薄膜热稳定性研究 | 第46-48页 |
| 4.2.3 降低GdFeCo薄膜的厚度 | 第48-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 全文总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第61页 |
