| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状和发展态势 | 第10-14页 |
| 1.3 论文研究内容和章节安排 | 第14-16页 |
| 第二章 基于激光干涉条纹形貌测量系统的结构和原理 | 第16-28页 |
| 2.1 剪切干涉原理 | 第16-18页 |
| 2.2 基于激光干涉条纹测量三维形貌的基本原理 | 第18-21页 |
| 2.3 激光干涉条纹的产生及特性 | 第21-27页 |
| 2.3.1 干涉条纹的产生 | 第21-23页 |
| 2.3.2 干涉条纹图像的空间频谱 | 第23-24页 |
| 2.3.3 干涉条纹随时间变化的稳定性分析 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 相位测量轮廓术 | 第28-42页 |
| 3.1 相位测量轮廓术的相位计算原理 | 第28-30页 |
| 3.2 相位测量轮廓术测量方法的系统结构及流程设计 | 第30-31页 |
| 3.3 采用位移平台完成四步相移控制 | 第31-34页 |
| 3.4 相位测量轮廓术中图像带通滤波的设计要求 | 第34-36页 |
| 3.5 相位展开算法 | 第36-40页 |
| 3.5.1 相位展开算法的基本原理 | 第36-38页 |
| 3.5.2 课题中对相位展开算法的改进 | 第38-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 傅里叶变换轮廓术 | 第42-48页 |
| 4.1 傅里叶变换轮廓术的相位计算原理 | 第42-44页 |
| 4.2 傅里叶变换轮廓术测量方法的系统结构及流程设计 | 第44页 |
| 4.3 傅里叶变换轮廓术中图像带通滤波的设计要求 | 第44-46页 |
| 4.4 相位测量轮廓术与傅里叶变换轮廓术的比较 | 第46-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 面结构3D测量的带通滤波 | 第48-59页 |
| 5.1 带通滤波的基本原理 | 第48-49页 |
| 5.2 三维形貌测量中带通滤波器实现的基础 | 第49-52页 |
| 5.2.1 单边谱基频中心的确定 | 第49-51页 |
| 5.2.2 基频选取范围的确定 | 第51页 |
| 5.2.3 基于阈值处理的分界点查找方法 | 第51-52页 |
| 5.3 本课题中所涉及带通滤波器的具体实现与区别 | 第52-56页 |
| 5.3.1 条纹稳定性分析过程中带通滤波器的实现 | 第52-54页 |
| 5.3.2 相位测量轮廓术方法中带通滤波器的实现 | 第54-55页 |
| 5.3.3 傅里叶变换轮廓术方法中带通滤波器的实现 | 第55-56页 |
| 5.4 针对微小物体带通滤波的进一步探讨 | 第56-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 实验及结果分析 | 第59-67页 |
| 6.1 实验框架与软硬件介绍 | 第59-61页 |
| 6.1.1 测试系统的实验框架 | 第59页 |
| 6.1.2 实验硬件的介绍 | 第59-61页 |
| 6.1.3 实验软件的介绍 | 第61页 |
| 6.2 相位测量轮廓术实验结果与分析 | 第61-63页 |
| 6.3 傅里叶变换轮廓术实验结果与分析 | 第63-66页 |
| 6.3.1 比较理想的实验结果 | 第63-64页 |
| 6.3.2 较差结果的分析 | 第64-66页 |
| 6.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第七章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 7.1 总结 | 第67-68页 |
| 7.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第73页 |
