| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 电感介绍 | 第11-14页 |
| 1.1.1 立体型电感 | 第11-12页 |
| 1.1.2 平面型电感 | 第12-14页 |
| 1.2 磁芯材料介绍 | 第14-16页 |
| 1.2.1 铁氧体 | 第15页 |
| 1.2.2 坡莫合金 | 第15页 |
| 1.2.3 晶态和非晶软磁合金 | 第15-16页 |
| 1.2.4 纳米晶软磁材料与非晶软磁颗粒 | 第16页 |
| 1.3 磁性薄膜的沉积技术 | 第16-18页 |
| 1.3.1 磁控溅射法 | 第16-17页 |
| 1.3.2 电沉积法 | 第17页 |
| 1.3.3 化学沉积法 | 第17-18页 |
| 1.3.4 真空蒸镀法 | 第18页 |
| 1.4 论文的研究内容 | 第18-20页 |
| 1.4.1 选题依据和研究意义 | 第18-19页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 化学镀Ni基镀层的前处理及镀液配方研究 | 第20-33页 |
| 2.1 前言 | 第20-21页 |
| 2.2 实验材料及仪器 | 第21-22页 |
| 2.3 化学镀前处理研究 | 第22-24页 |
| 2.3.1 超声波清洗 | 第23页 |
| 2.3.2 酸性除油和碱性除油 | 第23页 |
| 2.3.3 微蚀 | 第23-24页 |
| 2.3.4 活化 | 第24页 |
| 2.4 化镀Ni基磁芯薄膜镀液的组成 | 第24-29页 |
| 2.4.1 镀液的初步配方 | 第24-26页 |
| 2.4.2 主盐的优化和改进 | 第26-28页 |
| 2.4.3 还原剂的优化和改进 | 第28-29页 |
| 2.5 结论及讨论 | 第29-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 化学镀NiCoP磁芯薄膜对电感的性能研究 | 第33-50页 |
| 3.1 实验设计 | 第33-34页 |
| 3.1.1 实验试剂及仪器 | 第33页 |
| 3.1.2 磁芯薄膜的制备 | 第33-34页 |
| 3.2 镀液各组分对电感性能的影响 | 第34-40页 |
| 3.2.1 Co~(2+)/(Co~(2+)+Ni~(2+))对电感性能的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.2 还原剂配比对电感性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.3 络合剂对电感性能的影响 | 第37-40页 |
| 3.3 施镀工艺参数的探究 | 第40-44页 |
| 3.3.1 pH值对电感值的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.2 施镀时间对电感值的影响 | 第41-43页 |
| 3.3.3 施镀温度对电感值的影响 | 第43-44页 |
| 3.4 热处理对电感性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.5 基于电感值增加的NiCoP磁芯薄膜的电感仿真 | 第46-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜对磁芯性能的影响研究 | 第50-58页 |
| 4.1 化镀NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜的制备 | 第50-51页 |
| 4.1.1 实验试剂和仪器 | 第50页 |
| 4.1.2 实验设计和过程 | 第50-51页 |
| 4.2 NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜的性能表征 | 第51-54页 |
| 4.2.1 NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜的形貌分析 | 第51-52页 |
| 4.2.2 NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜的元素分析 | 第52-53页 |
| 4.2.3 NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜的磁性能研究 | 第53-54页 |
| 4.2.4 NiCoP-Fe_3O_4复合磁芯薄膜的晶体结构 | 第54页 |
| 4.3 不同含量的Fe_3O_4对电感性能的影响 | 第54-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 四元合金薄膜的电感性能研究 | 第58-65页 |
| 5.1 添加钨酸钠化镀NiCoPW四元磁芯薄膜的制备 | 第58页 |
| 5.2 NiCoPW四元磁芯薄膜的电感性能研究 | 第58-62页 |
| 5.2.1 钨酸钠对NiCoP磁芯薄膜沉积的速度影响 | 第59-61页 |
| 5.2.2 pH值对NiCoPW薄膜电感性能的影响 | 第61-62页 |
| 5.3 NiCoZnP四元磁芯薄膜的电感性能研究 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 本文结论 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第72页 |
