| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 可见光选择性吸收材料 | 第12-14页 |
| 1.2.1 超材料结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 金属/介质干涉结构 | 第13-14页 |
| 1.2.3 陷光结构体系 | 第14页 |
| 1.3 可见光全波段高吸收材料 | 第14-18页 |
| 1.3.1 基于碳纳米管的可见光全波段高吸收材料 | 第14-15页 |
| 1.3.2 一维光子晶体结构 | 第15-17页 |
| 1.3.3 复合等离激元超材料结构 | 第17页 |
| 1.3.4 多层渐变复合薄膜结构 | 第17-18页 |
| 1.4 超薄金属薄膜的光学特性 | 第18-19页 |
| 1.5 选题意义与研究内容 | 第19-21页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第19页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第19-20页 |
| 1.5.3 论文结构 | 第20-21页 |
| 第二章 超薄NiCr金属薄膜微观结构与光电特性的研究 | 第21-39页 |
| 2.1 概述 | 第21页 |
| 2.2 超薄NiCr金属薄膜的制备 | 第21-24页 |
| 2.2.1 基片预处理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 制备方法 | 第22-24页 |
| 2.3 膜厚测量 | 第24-25页 |
| 2.4 微观结构分析 | 第25-29页 |
| 2.4.1 XRD分析 | 第25-26页 |
| 2.4.2 AFM分析 | 第26-29页 |
| 2.5 XPS分析 | 第29-31页 |
| 2.6 光电特性分析 | 第31-38页 |
| 2.6.1 光学常数 | 第31-34页 |
| 2.6.2 吸收光谱 | 第34-36页 |
| 2.6.3 电学特性分析 | 第36-38页 |
| 2.7 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 Al/SiO_2/NiCr/Si_3N_4/NiCr结构体系的研究 | 第39-53页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 金属Al膜的光学性能与结构 | 第39-43页 |
| 3.2.1 概述 | 第39-40页 |
| 3.2.2 光学性质 | 第40-41页 |
| 3.2.3 XRD分析 | 第41-42页 |
| 3.2.4 AFM分析 | 第42-43页 |
| 3.3 介质膜SiO_2膜制备与光学参数 | 第43-44页 |
| 3.3.1 介质膜SiO_2制备 | 第43页 |
| 3.3.2 光学参数 | 第43-44页 |
| 3.4 介质膜Si_3N_4制备与光学参数 | 第44-45页 |
| 3.4.1 介质膜Si_3N_4制备 | 第44-45页 |
| 3.4.2 光学参数 | 第45页 |
| 3.5 基于Al/SiO_2/NiCr/Si_3N_4/NiCr结构体系NiCr膜厚的优化 | 第45-49页 |
| 3.5.1 NiCr膜厚对Al/SiO_2/NiCr复合膜吸收性能的影响 | 第46-47页 |
| 3.5.2 NiCr膜厚对Al/SiO_2/NiCr/Si_3N_4复合膜吸收性能的影响 | 第47-48页 |
| 3.5.3 NiCr膜厚对Al/SiO_2/NiCr/Si_3N_4/NiCr复合膜吸收性能影响 | 第48-49页 |
| 3.6 Si_3N_4膜厚对Al/SiO_2/NiCr/Si_3N_4/NiCr复合膜吸收性能的影响 | 第49-51页 |
| 3.7 XPS分析 | 第51-52页 |
| 3.8 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 Al/Si_3N_4/NiCr/SiO_2结构体系的研究 | 第53-62页 |
| 4.1 引言 | 第53-54页 |
| 4.2 基于Comsol软件对Al/Si_3N_4/NiCr/SiO_2结构体系厚度的优化 | 第54-57页 |
| 4.2.1 Comsol软件简介 | 第54页 |
| 4.2.2 Si_3N_4膜厚的优化 | 第54-55页 |
| 4.2.3 NiCr膜厚的优化 | 第55-56页 |
| 4.2.4 SiO_2厚度的优化 | 第56-57页 |
| 4.3 基于实验对Al/Si_3N_4/NiCr/SiO_2结构体系膜厚的优化 | 第57-60页 |
| 4.3.1 膜厚优化实验思路 | 第57-58页 |
| 4.3.2 NiCr膜厚对膜系吸收性能的影响 | 第58-59页 |
| 4.3.3 SiO_2膜厚对膜系吸收性能的影响 | 第59-60页 |
| 4.3.4 Si_3N_4膜厚对膜系吸收性能的影响 | 第60页 |
| 4.4 Al/SiO_2/NiCr/Si_3N_4结构体系的热稳定性分析 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 结论 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第70页 |
