基于PZT薄膜的压电超声行波电机设计与研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第10页 |
| 1.2 超声电机分类 | 第10-11页 |
| 1.3 行波超声电机优缺点 | 第11-13页 |
| 1.3.1 优点 | 第11-12页 |
| 1.3.2 缺点 | 第12-13页 |
| 1.4 超声电机发展历程 | 第13-14页 |
| 1.5 超声电机国内外研究现状 | 第14-19页 |
| 1.5.1 国内研究现状 | 第14-17页 |
| 1.5.2 国外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 行波超声电机工作原理 | 第20-35页 |
| 2.1 压电效应 | 第20-28页 |
| 2.1.1 压电效应与逆压电效应 | 第20-22页 |
| 2.1.2 压电方程 | 第22-23页 |
| 2.1.3 压电陶瓷及其材料参数特性 | 第23-26页 |
| 2.1.4 PZT陶瓷压电参数 | 第26-28页 |
| 2.2 定子振动模态概念 | 第28-30页 |
| 2.3 行波产生过程 | 第30-32页 |
| 2.3.1 行波型超声电机驱动原理 | 第30-31页 |
| 2.3.2 行波在定子中产生的条件 | 第31-32页 |
| 2.4 椭圆运动轨迹的形成机理 | 第32-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 超声电机定子结构设计 | 第35-50页 |
| 3.1 环形定子结构优缺点 | 第35-37页 |
| 3.1.1 环形定子的优点 | 第35-36页 |
| 3.1.2 环形定子的缺点 | 第36-37页 |
| 3.2 环形定子支撑梁设计 | 第37-42页 |
| 3.2.1 支撑结构的影响 | 第37-39页 |
| 3.2.2 能量损耗问题 | 第39页 |
| 3.2.3 支撑梁设计 | 第39-42页 |
| 3.3 定子结构设计 | 第42-49页 |
| 3.3.1 结构参数对性能的影响 | 第42-45页 |
| 3.3.2 环形定子结构设计 | 第45-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 超声电机定子结构仿真分析 | 第50-61页 |
| 4.1 模态(特征频率)分析 | 第50-53页 |
| 4.2 品质因数Q | 第53-56页 |
| 4.3 瞬态响应分析 | 第56-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 基于PZT薄膜的超声行波电机的制造和测试 | 第61-69页 |
| 5.1 超声电机定子制造过程 | 第62-64页 |
| 5.1.1 定子堆叠结构沉积 | 第62-63页 |
| 5.1.2 图案化处理 | 第63页 |
| 5.1.3 深反应离子蚀刻和释放 | 第63-64页 |
| 5.2 超声电机性能实验 | 第64-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
