| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第8-11页 |
| 1.3 大气等离子体加工技术相关研究国内外发展概况 | 第11-17页 |
| 1.3.1 国外研究概况 | 第11-15页 |
| 1.3.2 国内研究概况 | 第15-16页 |
| 1.3.3 文献简析 | 第16-17页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 等离子体理论基础和系统总体设计 | 第18-32页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 等离子体理论基础 | 第18-21页 |
| 2.2.1 大气压下等离子体及其产生方式 | 第18-19页 |
| 2.2.2 电感耦合等离子体的放电方式 | 第19-20页 |
| 2.2.3 材料去除机理 | 第20-21页 |
| 2.3 加工系统总体设计 | 第21-31页 |
| 2.3.1 对等离子体系统的总体设计 | 第22-23页 |
| 2.3.2 机床本体的总体设计 | 第23-30页 |
| 2.3.3 系统集成 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章ICP大气等离子体系统 | 第32-49页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 等离子体系统控制系统设计 | 第32-37页 |
| 3.2.1 电气系统设计 | 第32-35页 |
| 3.2.2 逻辑控制策略设计 | 第35-36页 |
| 3.2.3 系统抗干扰设计 | 第36-37页 |
| 3.3 等离子体发生系统设计 | 第37-45页 |
| 3.3.1 放电模块设计 | 第37-40页 |
| 3.3.2 质量流量控制模块设计 | 第40-42页 |
| 3.3.3 对刀模块设计及性能分析 | 第42-44页 |
| 3.3.4 尾气处理模块 | 第44-45页 |
| 3.4 等离子体系统实验性能研究 | 第45-48页 |
| 3.4.1 大去除能力实验研究 | 第45-46页 |
| 3.4.2 小去除能力实验研究 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 全口径保形快速去除实验研究 | 第49-62页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 局部不均匀刻蚀现象 | 第49-57页 |
| 4.2.1 过热导致的局部不均匀去除现象 | 第50-54页 |
| 4.2.2 无水乙醇导致的局部不均匀刻蚀现象 | 第54-57页 |
| 4.3 大气等离子体加工的边缘效应问题 | 第57-61页 |
| 4.3.1 边缘流场导致的边缘效应问题 | 第59-60页 |
| 4.3.2 边缘的散热问题导致的边缘效应问题 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67页 |