| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·MEMS 系统概述 | 第7-8页 |
| ·MEMS 加速度传感器 | 第8-11页 |
| ·MEMS 传感器 | 第8-9页 |
| ·MEMS 加速度传感器类型 | 第9-11页 |
| ·国内外研究进展 | 第11-12页 |
| ·面临的主要问题 | 第12页 |
| ·本文章节安排 | 第12-15页 |
| 第二章 MEMS 电容式加速度传感器检测原理及系统设计 | 第15-31页 |
| ·MEMS 电容式传感器检测电路特点 | 第15-16页 |
| ·MEMS 电容式加速度传感器基本原理 | 第16页 |
| ·MEMS 电容类型 | 第16-19页 |
| ·变间距式平行板电容结构 | 第17-18页 |
| ·变面积式平行板电容结构 | 第18-19页 |
| ·MEMS 电容测量方法 | 第19-23页 |
| ·调频法 | 第19-20页 |
| ·电桥法 | 第20页 |
| ·差动脉冲调宽电路 | 第20-21页 |
| ·电容分压式检测电路 | 第21-22页 |
| ·双路载波调制型检测电路 | 第22-23页 |
| ·开关电容检测电路 | 第23页 |
| ·MEMS 电容式加速度传感器检测系统设计 | 第23-29页 |
| ·开关电容 | 第23-27页 |
| ·MEMS 电容式加速度传感器检测系统 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 MEMS 电容式加速度传感器检测电路设计 | 第31-53页 |
| ·自偏置恒流源与启动电路设计 | 第31-37页 |
| ·常见偏置电路结构 | 第31-32页 |
| ·改进偏置电路结构 | 第32-34页 |
| ·偏置电路结构设计 | 第34-36页 |
| ·启动电路设计 | 第36-37页 |
| ·带隙基准电压源设计 | 第37-42页 |
| ·带隙基准基本原理 | 第37-39页 |
| ·带隙基准CMOS 工艺可行性 | 第39页 |
| ·带隙基准设计 | 第39-42页 |
| ·时钟振荡器设计 | 第42-48页 |
| ·张弛振荡器基本概念 | 第43页 |
| ·张弛振荡器电路结构设计 | 第43-44页 |
| ·张弛振荡器工作原理 | 第44-45页 |
| ·张弛振荡器单元设计 | 第45-48页 |
| ·系统其它模块设计 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 检测电路仿真与分析 | 第53-63页 |
| ·自偏置恒流源仿真 | 第53-54页 |
| ·带隙基准仿真 | 第54-56页 |
| ·振荡器仿真 | 第56-58页 |
| ·运算放大器仿真 | 第58-59页 |
| ·电路系统功能仿真 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 版图设计及验证 | 第63-69页 |
| ·版图设计工具简介 | 第63-64页 |
| ·版图编辑工具 | 第63页 |
| ·实时验证工具 | 第63-64页 |
| ·版图设计步骤 | 第64-65页 |
| ·设计规则 | 第65-66页 |
| ·系统版图设计 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 研究成果 | 第77-78页 |