高真空阀流量特性实验台的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的来源与背景 | 第9页 |
| 1.2 真空流量特性理论研究 | 第9-10页 |
| 1.3 高真空阀流量特性的现状 | 第10-12页 |
| 1.3.1 国外高真空阀流量特性现状 | 第10-11页 |
| 1.3.2 国内高真空阀流量特性现状 | 第11-12页 |
| 1.4 真空流量测量系统 | 第12-14页 |
| 1.4.1 真空流量测量系统的国外研究现状 | 第13页 |
| 1.4.2 真空流量测量系统的国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.5 本课题的研究意义和研究内容 | 第14-16页 |
| 1.5.1 本课题的研究意义 | 第14-15页 |
| 1.5.2 本课题的研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 实验台总体方案设计及主要元件选型 | 第16-30页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 实验台研究对象及方法的确定 | 第16-20页 |
| 2.2.1 实验台研究对象和压力范围 | 第16-18页 |
| 2.2.2 实验方法的确定 | 第18-20页 |
| 2.3 真空容器容积的计算 | 第20-24页 |
| 2.3.1 空气流时真空容器的容积与泵抽速计算 | 第20-23页 |
| 2.3.2 分子流时真空容器的容积与泵抽速计算 | 第23-24页 |
| 2.4 实验台方案及实验步骤 | 第24-26页 |
| 2.5 真空元件的选取 | 第26-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 真空容器设计与校核 | 第30-52页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 真空容器的设计 | 第30-35页 |
| 3.2.1 真空容器直径的确定 | 第30-31页 |
| 3.2.2 真空容器壁厚的确定 | 第31-32页 |
| 3.2.3 真空容器封头的确定 | 第32-34页 |
| 3.2.4 真空容器其他部分尺寸的设计 | 第34-35页 |
| 3.3 真空系统其他设计 | 第35页 |
| 3.4 真空容器的校核设计 | 第35-51页 |
| 3.4.1 压力容器分析理论 | 第35-36页 |
| 3.4.2 真空管道的应力分析 | 第36-38页 |
| 3.4.3 真空容器有限元校核设计 | 第38-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 数据采集与实验台测控系统 | 第52-56页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 LabVIEW 数据采集 | 第52-53页 |
| 4.3 实验台数据采集程序 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 高真空阀流量特性实验台的仿真实验 | 第56-63页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 实验台建模与仿真 | 第56-62页 |
| 5.2.1 高真空阀建模 | 第56页 |
| 5.2.2 实验台建模 | 第56-57页 |
| 5.2.3 实验台抽气过程仿真 | 第57-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
