| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-36页 |
| 1.1 课题来源与研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 压电陶瓷作动器 | 第11-15页 |
| 1.3 超精密微位移运动平台 | 第15-20页 |
| 1.4 压电陶瓷作动器迟滞非线性建模与补偿 | 第20-33页 |
| 1.5 论文的研究内容及结构 | 第33-36页 |
| 2 基于非对称Bouc-Wen模型的迟滞建模与鲁棒控制器设计 | 第36-63页 |
| 2.1 引言 | 第36页 |
| 2.2 非对称Bouc-Wen模型 | 第36-40页 |
| 2.3 基于粒子群优化算法的非对称Bouc-Wen模型参数辨识 | 第40-47页 |
| 2.4 基于非对称Bouc-Wen模型的Ⅱ_∞鲁棒控制器设计 | 第47-55页 |
| 2.5 实验验证 | 第55-61页 |
| 2.6 本章小结 | 第61-63页 |
| 3 基于率相关迟滞非线性模型的逆补偿控制 | 第63-77页 |
| 3.1 引言 | 第63页 |
| 3.2 率相关非对称Bouc-Wen模型 | 第63-67页 |
| 3.3 基于率相关非对称Bouc-Wen模型的逆补偿控制器设计 | 第67-70页 |
| 3.4 实验验证 | 第70-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-77页 |
| 4 基于神经网络的迟滞非线性建模与非线性自适应逆控制 | 第77-97页 |
| 4.1 引言 | 第77页 |
| 4.2 基于神经网络的迟滞非线性建模 | 第77-85页 |
| 4.3 非线性自适应逆控制器设计 | 第85-88页 |
| 4.4 实验验证 | 第88-95页 |
| 4.5 本章小结 | 第95-97页 |
| 5 传感—作动一体式的压电智能精密运动平台 | 第97-121页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 压电智能精密运动平台设计 | 第97-101页 |
| 5.3 压电智能精密运动平台建模、分析与标定 | 第101-116页 |
| 5.4 压电智能精密运动平台非线性自适应逆控制 | 第116-118页 |
| 5.5 本章小结 | 第118-121页 |
| 6 总结与展望 | 第121-125页 |
| 6.1 工作总结 | 第121-123页 |
| 6.2 论文创新点 | 第123-124页 |
| 6.3 研究展望 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第135-136页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的发明专利和其他成果 | 第136页 |
