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四氟化碳等离子体处理制备低介电常数聚酰亚胺薄膜

中文摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 文献综述第8-23页
    1.1 引言第8-10页
        1.1.1 介电常数第8页
        1.1.2 介电损耗第8-9页
        1.1.3 介电常数和介电损耗对信号传输的影响第9-10页
    1.2 挠性印制线路板用基材第10-13页
        1.2.1 聚酰亚胺材料第10-11页
        1.2.2 液晶材料第11页
        1.2.3 聚醚材料第11-12页
        1.2.4 挠性线路板用基材优缺点比较第12-13页
    1.3 低介电常数聚酰亚胺材料的制备第13-19页
        1.3.1 含氟聚酰亚胺材料第13-15页
        1.3.2 多孔泡沫型聚酰亚胺材料第15-19页
    1.4 本课题的提出第19-23页
        1.4.1 低温等离子体处理第20-21页
        1.4.2 本课题的创新性第21-23页
第2章 实验原理与实验方法第23-29页
    2.1 实验原理第23-24页
    2.2 实验装置第24-25页
    2.3 测试方法第25-29页
        2.3.1 表面接触角的测定第25-26页
        2.3.2 介电常数和介电损耗的测定第26页
        2.3.3 微观形态扫描电镜分析第26页
        2.3.4 红外光谱分析第26-27页
        2.3.5 XPS 光电子能谱分析第27页
        2.3.6 拉伸强度的测定第27-29页
第3章 等离子体表面活化法处理 PI 膜第29-48页
    3.1 引言第29-30页
    3.2 实验部分第30-31页
        3.2.1 实验材料与设备第30页
        3.2.2 实验方法第30页
        3.2.3 实验方法第30-31页
    3.3 实验结果与分析第31-48页
        3.3.1 实验条件对表面接触角的影响第31-33页
        3.3.2 实验条件对介电性能的影响第33-39页
            3.3.2.1 实验条件对介电常数的影响第33-36页
            3.3.2.2 实验条件对介电损耗的影响第36-39页
        3.3.3 红外光谱分析第39-40页
        3.3.4 微观形态扫描电镜分析第40-42页
        3.3.5 XPS 光电子能谱分析第42-46页
        3.3.6 等离子体处理对聚酰亚胺薄膜拉伸强度的影响第46-48页
第4章 结论和展望第48-50页
参考文献第50-54页
在读期间发表论文目录第54-55页
致谢第55-56页

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