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含硅类金刚石膜的力学性能研究

致谢第1-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7-11页
1 绪论第11-23页
   ·DLC膜第11-13页
   ·Si-DLC膜第13-21页
     ·Si-DLC的制备第13-14页
     ·Si-DLC膜的应用第14-17页
       ·Si-DLC膜的热稳定性及应用第14-15页
       ·Si-DLC膜的耐腐蚀性及应用第15页
       ·油润滑条件下Si-DLC膜的低摩擦性及应用第15-16页
       ·Si-DLC膜的扩大透明的红外区范围第16页
       ·具有高寿命的Si-DLC膜的应用第16页
       ·Si-DLC膜的生物适应性和力学性能及应用第16-17页
     ·Si-DLC的实验研究第17-20页
     ·Si-DLC的理论研究第20-21页
   ·本课题的意义及完成的主要工作第21-22页
   ·本章小结第22-23页
2 分子动力学模拟方法第23-41页
   ·概述第23-24页
   ·平衡态分子动力学模拟第24-31页
     ·基本方程第24-25页
     ·求解方法第25-27页
     ·边界条件和初值第27-29页
       ·元胞周期性边界条件第27-28页
       ·最小影像力第28-29页
     ·能量、压力以及温度的控制第29-31页
       ·正则(NVT)系综第30页
       ·等温等压(NPT)系综第30-31页
   ·熔融淬火过程的模拟第31-37页
     ·模型构造描述第31-32页
     ·势函数的选择第32-35页
     ·加热融化(NVT)和快速退火(NPT)及成膜第35-37页
   ·体积模量第37-39页
   ·本章小结第39-41页
3 纳米压痕第41-47页
   ·压痕的模拟第41-42页
     ·压痕模型的建立第41页
     ·压头压入和撤回第41-42页
   ·正压力随硅含量的变化第42-45页
   ·硬度第45页
   ·压强第45-46页
   ·本章小结第46-47页
4 有限元仿真第47-59页
   ·弹塑性接触及有限元理论第47-52页
     ·Hertz理论第47-49页
     ·Von Mises屈服准则第49-50页
     ·接触问题的有限元分析第50-51页
     ·ABAQUS有限元软件第51-52页
   ·建模第52-53页
   ·结果与讨论第53-58页
     ·加载力的有限元仿真结果第53-56页
     ·加载位移的有限元仿真结果第56-58页
   ·结果讨论第58页
   ·本章小结第58-59页
5 结论第59-61页
   ·结论第59页
   ·展望第59-61页
参考文献第61-65页
作者简历第65-69页
学位论文数据集第69页

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