| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 主要符号说明 | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 纳米机电系统NEMS微结构特性及研究现状 | 第15-28页 |
| 1.2.1 尺寸效应 | 第15-19页 |
| 1.2.2 不稳定吸合特性 | 第19页 |
| 1.2.3 纳米尺度下的微观力及研究现状 | 第19-22页 |
| 1.2.4 基于连续介质力学不同理论的发展与研究现状 | 第22-28页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 基于连续介质力学的不同理论的对比研究 | 第30-52页 |
| 2.1 引言 | 第30-31页 |
| 2.2 基于连续介质力学的不同理论 | 第31-38页 |
| 2.2.1 表面能理论 | 第31-32页 |
| 2.2.2 修正偶应力理论 | 第32-33页 |
| 2.2.3 非局部理论 | 第33-35页 |
| 2.2.4 梯度弹性理论 | 第35-37页 |
| 2.2.5 应变梯度弹性理论 | 第37-38页 |
| 2.3 基于不同理论的简支欧拉梁模型对比研究 | 第38-50页 |
| 2.3.1 两端简支欧拉微梁模型 | 第38-46页 |
| 2.3.2 数值结果与对比 | 第46-50页 |
| 2.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第三章 静电激励MEMS数值方法探究 | 第52-64页 |
| 3.1 引言 | 第52页 |
| 3.2 广义微分求积法 | 第52-54页 |
| 3.2.1 广义微分求积法的发展 | 第52-53页 |
| 3.2.2 广义微分求积法的原理 | 第53-54页 |
| 3.3 拟弧长延拓法 | 第54-57页 |
| 3.3.1 拟弧长延拓法的原理 | 第54-57页 |
| 3.4 静电激励MEMS模型 | 第57-60页 |
| 3.5 数值结果分析 | 第60-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 考虑卡西米尔力的静电激励NEMS吸合特性及其尺寸效应研究 | 第64-86页 |
| 4.1 引言 | 第64-65页 |
| 4.2 考虑卡西米尔力的静电激励NEMS尺寸效应模型 | 第65-71页 |
| 4.3 数值结果与分析 | 第71-84页 |
| 4.3.1 不稳定吸合现象 | 第71页 |
| 4.3.2 卡西米尔效应 | 第71-75页 |
| 4.3.3 最小间距和拉起长度 | 第75-80页 |
| 4.3.4 结合Casimir force和边缘场研究NEMS的尺寸效应 | 第80-82页 |
| 4.3.5 新尺寸效应模型的应用 | 第82-84页 |
| 4.4 本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 考虑范德华力的静电激励NEMS吸合特性及其尺寸效应研究 | 第86-94页 |
| 5.1 引言 | 第86页 |
| 5.2 考虑范德华力的静电激励NEMS尺寸效应模型 | 第86-88页 |
| 5.3 数值结果与对比 | 第88-91页 |
| 5.3.1 不稳定吸合现象 | 第88-90页 |
| 5.3.2 范得华力的影响 | 第90页 |
| 5.3.3 尺寸效应 | 第90-91页 |
| 5.4 本章小结 | 第91-94页 |
| 总结与展望 | 第94-98页 |
| 全文总结 | 第94-96页 |
| 主要创新点 | 第96页 |
| 研究展望 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-110页 |
| 致谢 | 第110-112页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第112-113页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第113页 |
