| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题背景、意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外现状综述 | 第9-10页 |
| 1.3.1 国外现状综述 | 第9-10页 |
| 1.3.2 国内现状综述 | 第10页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第2章 红外测厚的原理研究 | 第12-18页 |
| 2.1 薄膜光谱分析 | 第12-14页 |
| 2.1.1 薄膜材料 | 第12页 |
| 2.1.2 薄膜红外光谱 | 第12-14页 |
| 2.2 红外测厚原理 | 第14-17页 |
| 2.2.1 红外反射测量方式 | 第14-15页 |
| 2.2.2 红外透射测量方式 | 第15-16页 |
| 2.2.3 精度提高的方法研究 | 第16-17页 |
| 2.3 本章小结 | 第17-18页 |
| 第3章 基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统方案设计 | 第18-25页 |
| 3.1 基于红外技术的薄膜测厚系统总体设计原理 | 第18-19页 |
| 3.2 信号检测部分方案设计 | 第19-21页 |
| 3.3 基于红外技术的薄膜测厚系统总体方案设计 | 第21-23页 |
| 3.4 基于红外技术的薄膜测厚系统整体实现 | 第23-24页 |
| 3.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第4章 基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统硬件设计与实现 | 第25-51页 |
| 4.1 模拟信号电路设计 | 第25-44页 |
| 4.1.1 电源模块设计 | 第25-26页 |
| 4.1.2 红外光源的选择 | 第26-27页 |
| 4.1.3 调制信号模块设计 | 第27-29页 |
| 4.1.4 红外光驱动电路设计 | 第29-31页 |
| 4.1.5 红外光探测器选型 | 第31-32页 |
| 4.1.6 传感器制冷模块设计 | 第32-34页 |
| 4.1.7 稳压电路驱动模块设计 | 第34-37页 |
| 4.1.8 前置信号处理模块设计 | 第37-38页 |
| 4.1.9 模拟信号处理模块设计 | 第38-44页 |
| 4.2 AD 模块部分设计 | 第44-46页 |
| 4.3 人机界面部分设计 | 第46-47页 |
| 4.4 电平转换模块设计 | 第47页 |
| 4.5 DSP 主控模块硬件设计 | 第47-50页 |
| 4.5.1 电源模块设计 | 第47-49页 |
| 4.5.2 时钟模块 | 第49页 |
| 4.5.3 复位模块 | 第49-50页 |
| 4.5.4 程序仿真下载模块 | 第50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统软件设计与实现 | 第51-64页 |
| 5.1 DSP 软件开发平台简介 | 第51页 |
| 5.2 基于红外技术的薄膜测厚系统主程序设计 | 第51-61页 |
| 5.2.1 芯片初始化模块 | 第53页 |
| 5.2.2 AD 转换模块 | 第53-55页 |
| 5.2.3 人机界面模块 | 第55-56页 |
| 5.2.4 数字滤波模块 | 第56-61页 |
| 5.3 数据归一化处理 | 第61-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
