| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外关于 SiC 的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内关于 SiC 的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 6H-SiC 电光特性研究 | 第14-26页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 6H-SiC 晶体的电光系数 | 第14-19页 |
| 2.2.1 6H-SiC 晶体的折射率椭球 | 第14-16页 |
| 2.2.2 6H-SiC 晶体电光系数分离测量理论 | 第16-19页 |
| 2.3 6H-SIC 晶体的电光系数测量 | 第19-25页 |
| 2.3.1 电光系数测量方法 | 第19-21页 |
| 2.3.2 6H-SiC 晶体电光系数实验测量 | 第21-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 飞秒激光对 6H-SiC 表面改性研究 | 第26-37页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 飞秒激光表面改性实验 | 第26-29页 |
| 3.2.1 实验制备准备 | 第26-27页 |
| 3.2.2 飞秒激光对 6H-SiC 晶体表面改性 | 第27-29页 |
| 3.3 飞秒激光表面改性测量与结果分析 | 第29-36页 |
| 3.3.1 伏安特性测量 | 第29-30页 |
| 3.3.2 吸收谱测量分析飞秒激光表面改性结果 | 第30-31页 |
| 3.3.3 拉曼光谱测量分析飞秒激光改性结果 | 第31-33页 |
| 3.3.4 XPS 测量分析飞秒激光改性结果 | 第33-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 飞秒激光对 6H-SiC 晶体微加工研究 | 第37-49页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 飞秒激光加工 SiC 晶体光栅 | 第37-43页 |
| 4.2.1 SiC 晶体光栅制备 | 第37-40页 |
| 4.2.2 SiC 晶体光栅性能测试 | 第40-42页 |
| 4.2.3 SiC 晶体光栅高温稳定性测试 | 第42-43页 |
| 4.3 飞秒激光在 6H-SiC 晶体中加工悬臂梁 | 第43-47页 |
| 4.3.1 SiC 悬臂梁制造工艺 | 第43-45页 |
| 4.3.2 飞秒激光加工 SiC 悬臂梁 | 第45-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 6H-SiC 晶体光栅高温传感研究 | 第49-57页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 碳化硅光栅高温传感理论 | 第49-51页 |
| 5.3 碳化硅光栅高温传感实验 | 第51-52页 |
| 5.4 碳化硅光栅高温传感实验结果分析 | 第52-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
