| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 光学薄膜的应用及分类 | 第10-14页 |
| 1.2.1 减反膜 | 第10-12页 |
| 1.2.2 高反膜 | 第12-13页 |
| 1.2.3 滤波片 | 第13页 |
| 1.2.4 其他膜系 | 第13-14页 |
| 1.3 光学薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.4 光学薄膜设计与厚度测量 | 第16-19页 |
| 1.4.1 光学薄膜设计软件的对比分析 | 第17-18页 |
| 1.4.2 薄膜厚度的测量方法 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容与创新点 | 第19-21页 |
| 第二章 TiO_2/SiO_2基高反膜和长波带通滤波片的模拟、制备及性能 | 第21-36页 |
| 2.1 实验与模拟设计 | 第21-29页 |
| 2.1.1 测试与表征 | 第21-22页 |
| 2.1.2 TiO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第22-23页 |
| 2.1.3 SiO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第23-25页 |
| 2.1.4 TiO_2/SiO_2基高反膜的模拟设计与制备 | 第25-27页 |
| 2.1.5 TiO_2/SiO_2基长波带通滤波片的模拟设计与制备 | 第27-29页 |
| 2.2 结果与分析 | 第29-34页 |
| 2.2.1 TiO_2/SiO_2基高反膜的结构表征 | 第29-31页 |
| 2.2.2 TiO_2/SiO_2基高反膜的光学性能 | 第31-33页 |
| 2.2.3 TiO_2/SiO_2基长波带通滤波片的结构表征 | 第33页 |
| 2.2.4 TiO_2/SiO_2基长波带通滤波片的光学性能 | 第33-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 TiO_2/SiO_2和SnO2/SiO_2多层减反膜的设计、制备及性能 | 第36-48页 |
| 3.1 光学软件设计优化及实验过程 | 第37-43页 |
| 3.1.1 测试与表征 | 第37页 |
| 3.1.2 TiO_2/SiO_2减反膜的模拟设计与制备 | 第37-40页 |
| 3.1.3 SnO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第40-42页 |
| 3.1.4 SnO_2/SiO_2多层减反膜的模拟与制备 | 第42-43页 |
| 3.2 结果与分析 | 第43-46页 |
| 3.2.1 TiO_2/SiO_2多层减反膜的结构表征 | 第43-44页 |
| 3.2.2 TiO_2/SiO_2多层减反膜的光学性能 | 第44-45页 |
| 3.2.3 SnO_2/SiO_2多层减反膜的结构表征 | 第45-46页 |
| 3.2.4 SnO_2/SiO_2多层减反膜的光学性能 | 第46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 折射率可调TiO_2薄膜的制备与性能 | 第48-61页 |
| 4.1 实验过程 | 第48-50页 |
| 4.1.1 不同掺杂比例TiO_2-ZnO前躯体溶胶的配制与复合薄膜的制备 | 第48-49页 |
| 4.1.2 薄膜的酸化处理 | 第49-50页 |
| 4.2 结果与分析 | 第50-59页 |
| 4.2.1 测试与表征 | 第50页 |
| 4.2.2 TiO_2-ZnO复合薄膜的结构表征 | 第50-52页 |
| 4.2.3 热处理温度对TiO_2-ZnO薄膜光学性能的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.4 酸液刻蚀后TiO_2-ZnO复合膜的结构表征 | 第53-57页 |
| 4.2.5 多孔TiO_2薄膜的的光学性能 | 第57-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论与展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第72页 |
