| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 FBAR应力负载效应研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3 研究思路 | 第15-17页 |
| 1.4 主要研究内容以及安排 | 第17-19页 |
| 1.4.1 论文研究内容 | 第17-18页 |
| 1.4.2 论文各章节安排 | 第18-19页 |
| 2 FBAR应力负载效应 | 第19-32页 |
| 2.1 理论基础 | 第19-23页 |
| 2.1.1 线性压电方程 | 第19-20页 |
| 2.1.2 非线性电弹体方程 | 第20-22页 |
| 2.1.3 基本声波理论 | 第22-23页 |
| 2.2 初应力下FBAR的谐振频率 | 第23-26页 |
| 2.3 FBAR的有限元仿真 | 第26-31页 |
| 2.3.1 ANSYS简介 | 第26-27页 |
| 2.3.2 ANSYS压电仿真分析要点 | 第27-28页 |
| 2.3.3 FBAR受集中力仿真 | 第28-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 AlN晶体的第一性原理计算 | 第32-45页 |
| 3.1 AlN晶体弹性常数的计算 | 第33-40页 |
| 3.1.1 不受压力作用下的弹性常数 | 第34-36页 |
| 3.1.2 受单轴压力作用下的弹性常数 | 第36-38页 |
| 3.1.3 受双轴压力作用下的弹性常数 | 第38-40页 |
| 3.2 AlN晶体压电常数的计算 | 第40-42页 |
| 3.2.1 不受压力作用下的压电常数 | 第40-41页 |
| 3.2.2 受单轴压力作用下的压电常数 | 第41页 |
| 3.2.3 受双轴压力作用下的压电常数 | 第41-42页 |
| 3.3 理想FBAR谐振频率的计算 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 FBAR力学传感器灵敏度计算模型 | 第45-62页 |
| 4.1 基于Mason模型的多尺度计算模型 | 第45-51页 |
| 4.1.1 基本原理 | 第46-50页 |
| 4.1.2 计算方法 | 第50-51页 |
| 4.2 基于有限元方法的多尺度计算模型 | 第51-61页 |
| 4.2.1 COMSOL Multiphysics简介 | 第52-53页 |
| 4.2.2 计算方法 | 第53-55页 |
| 4.2.3 算例分析 | 第55-61页 |
| 4.2.3.1 算例一 | 第55-58页 |
| 4.2.3.2 算例二 | 第58-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 摄动积分法 | 第62-71页 |
| 5.1 基本原理 | 第62-65页 |
| 5.2 计算方法和算例 | 第65-68页 |
| 5.3 摄动积分法讨论 | 第68-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 6 总结 | 第71-73页 |
| 6.1 论文的主要工作 | 第71-72页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第72页 |
| 6.3 后续工作展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第80页 |