B-C-Mg非晶薄膜的成分设计、制备及表征
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 材料表面防护 | 第9页 |
| 1.2 硬质薄膜 | 第9-10页 |
| 1.3 硼、硼化物及硼化物薄膜 | 第10-16页 |
| 1.4 磁控溅射技术 | 第16-17页 |
| 1.5 团簇加连接原子模型 | 第17-19页 |
| 1.6 研究目的及内容 | 第19-20页 |
| 2 研究方法 | 第20-28页 |
| 2.1 样品的制备 | 第20-21页 |
| 2.1.1 设备介绍 | 第20-21页 |
| 2.1.2 样品处理 | 第21页 |
| 2.1.3 热处理方法 | 第21页 |
| 2.2 样品的表征 | 第21-24页 |
| 2.2.1 沉积速率 | 第21-22页 |
| 2.2.2 化学成分与成键环境 | 第22-23页 |
| 2.2.3 表面形貌 | 第23页 |
| 2.2.4 结构测试 | 第23-24页 |
| 2.3 性能测试 | 第24-25页 |
| 2.3.1 硬度测试 | 第24页 |
| 2.3.2 韧性测试 | 第24-25页 |
| 2.3.3 摩擦系数测试 | 第25页 |
| 2.3.4 粗糙度测试 | 第25页 |
| 2.3.5 结合力测试 | 第25页 |
| 2.4 论计算 | 第25-28页 |
| 2.4.1 密度泛函理论 | 第25-27页 |
| 2.4.2 本论文中使用的软件包简介 | 第27-28页 |
| 3 B-C-Mg薄膜的团簇模型验证 | 第28-45页 |
| 3.1 前言 | 第28页 |
| 3.2 团簇模型设计非晶成分 | 第28-33页 |
| 3.2.1 团簇 | 第28-30页 |
| 3.2.2 主团簇 | 第30-31页 |
| 3.2.3 晶体相的团簇式 | 第31-32页 |
| 3.2.4 非晶的团簇式 | 第32-33页 |
| 3.3 实验方法 | 第33页 |
| 3.4 团簇模型设计非晶成分实验验证 | 第33-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 B-C-Mg薄膜制备工艺探索 | 第45-50页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 实验方法 | 第45页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第45-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 理论计算与展望 | 第50-65页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 结构模型和计算方法 | 第50-52页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第52-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
