| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 论文研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 论文结构安排 | 第13-15页 |
| 参考文献 | 第15-19页 |
| 第二章 用于WDM系统中的长波长PIN光探测器研究现状 | 第19-35页 |
| 2.1 WDM系统中的光探测器 | 第20-23页 |
| 2.1.1 PIN光探测器 | 第20-21页 |
| 2.1.2 APD光探测器 | 第21-22页 |
| 2.1.3 MSM光探测器 | 第22-23页 |
| 2.2 基于特殊微结构的高性能PIN光探测器研究进展 | 第23-27页 |
| 2.2.1 一镜斜置三镜腔光探测器 | 第23-24页 |
| 2.2.2 基于锥型吸收腔的PIN光探测器 | 第24-25页 |
| 2.2.3 吸收腔P区厚度渐变型PIN光探测器 | 第25-26页 |
| 2.2.4 具有台阶型滤波腔的PIN光探测器 | 第26-27页 |
| 2.3 基于新型器件组件的高性能PIN光探测器研究进展 | 第27-31页 |
| 2.3.1 基于多腔介质薄膜滤波器的PIN光探测器 | 第27-28页 |
| 2.3.2 基于级联微环谐振腔的PIN光探测器 | 第28-29页 |
| 2.3.3 基于级联导模共振亚波长光栅的PIN光探测器 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-35页 |
| 第三章 基于GaAs基F-P滤波腔的吸收层侧向凹陷型微结构PIN光探测器的设计与优化 | 第35-53页 |
| 3.1 PIN光探测器理论分析 | 第36-39页 |
| 3.1.1 PIN光探测器的量子效率性能分析 | 第36页 |
| 3.1.2 PIN光探测器的高速响应性能分析 | 第36-39页 |
| 3.1.3 PIN光探测器的暗电流性能分析 | 第39页 |
| 3.2 吸收层侧凹型微结构PIN光探测器的基本结构 | 第39-40页 |
| 3.3 器件的关键性能分析 | 第40-43页 |
| 3.3.1 器件的量子效率性能分析 | 第40-42页 |
| 3.3.2 器件的高速响应性能分析 | 第42-43页 |
| 3.4 器件性能的优化设计 | 第43-50页 |
| 3.4.1 吸收层厚度对侧向凹陷型PIN光探测器性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.4.2 漂移增强层尺寸对侧凹型PIN光探测器性能的影响 | 第46-47页 |
| 3.4.3 侧向凹陷深度对吸收层侧凹型PIN光探测器性能的影响 | 第47-48页 |
| 3.4.4 吸收层侧向凹陷微结构PIN光探测器最优化器件参数分析 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第四章 基于Si基高折射率差亚波长偏振光栅的宽光谱增强型光探测器设计与优化 | 第53-75页 |
| 4.1 亚波长光栅分析方法 | 第53-55页 |
| 4.1.1 严格耦合波分析法 | 第54页 |
| 4.1.2 有限元法 | 第54页 |
| 4.1.3 时域有限差分法 | 第54-55页 |
| 4.2 高折射率差亚波长偏振光栅设计 | 第55-66页 |
| 4.2.1 高折射率差亚波长偏振光栅理论分析 | 第56-58页 |
| 4.2.2 仿真方法及可靠性验证 | 第58-60页 |
| 4.2.3 高折射率差的亚波长偏振光栅设计 | 第60-66页 |
| 4.3 基于亚波长光栅高反镜的宽光谱增强型光探测器的设计与优化 | 第66-71页 |
| 4.3.1 器件结构设计 | 第66-67页 |
| 4.3.2 器件的性能分析 | 第67-69页 |
| 4.3.3 基于HCG的漂移增强型多结PIN光探测器的优化设计 | 第69-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 第五章 吸收层侧向凹陷微结构PIN光探测器的实验制作及性能测试 | 第75-85页 |
| 5.1 器件的外延生长 | 第75-76页 |
| 5.2 器件的后工艺制作 | 第76-78页 |
| 5.3 器件的性能测试和结果分析 | 第78-82页 |
| 5.3.1 器件量子效率测试及结果分析 | 第78-80页 |
| 5.3.2 器件高速响应性能测试及结果分析 | 第80-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第87页 |
