| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-10页 |
| 2 薄膜的气相沉积技术及TiN 薄膜的研究现状 | 第10-23页 |
| ·薄膜的气相沉积技术 | 第10-21页 |
| ·气相沉积技术的发展历史 | 第11-12页 |
| ·气相沉积技术分类 | 第12-21页 |
| ·氮化钛薄膜的研究现状 | 第21-23页 |
| 3 试验设备与材料 | 第23-27页 |
| ·真空溅射镀膜机 | 第23页 |
| ·磁控靶 | 第23-24页 |
| ·气源系统 | 第24页 |
| ·工作气体进气系统 | 第24页 |
| ·反应气体进气系统 | 第24页 |
| ·电源系统 | 第24-25页 |
| ·中频溅射电源 | 第24页 |
| ·偏压电源 | 第24-25页 |
| ·气体分析系统 | 第25页 |
| ·试验用基体材料及试样制备 | 第25页 |
| ·试样测量仪器 | 第25-27页 |
| ·显微硬度计 | 第25页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第25-26页 |
| ·盐雾试验机 | 第26页 |
| ·双管显微镜 | 第26-27页 |
| 4 镀膜工艺与氮化钛薄膜的制备 | 第27-32页 |
| ·镀膜工艺 | 第27-30页 |
| ·试验的正交设计方法 | 第27-29页 |
| ·镀膜工艺的正交设计表 | 第29-30页 |
| ·氮化钛薄膜的制备 | 第30-32页 |
| ·试验前准备的工作 | 第30页 |
| ·镀膜工艺流程 | 第30-32页 |
| 5 SP-0707AS 型真空溅镀机的安装与调试 | 第32-39页 |
| ·设备配置及安装准备 | 第32-36页 |
| ·设备的配置 | 第32-34页 |
| ·设备的安装准备 | 第34-36页 |
| ·真空镀膜机的操作流程 | 第36-39页 |
| ·开机 | 第36页 |
| ·待机 | 第36-37页 |
| ·抽真空 | 第37页 |
| ·镀膜 | 第37-38页 |
| ·关机 | 第38-39页 |
| 6 氮化钛薄膜的性能测定及工艺参数对薄膜性能的影响 | 第39-52页 |
| ·概述 | 第39页 |
| ·氮化钛薄膜的性能测定 | 第39-52页 |
| ·氮化钛薄膜显微硬度的测定方法 | 第39-40页 |
| ·氮化钛薄膜显微硬度的检验 | 第40-41页 |
| ·氮化钛薄膜厚度的测定方法 | 第41页 |
| ·氮化钛薄膜厚度的检验 | 第41-42页 |
| ·氮化钛薄膜耐蚀性的测定方法 | 第42-46页 |
| ·氮化钛薄膜耐蚀性的检验 | 第46-48页 |
| ·氮化钛薄膜表面粗糙度的测定方法 | 第48-50页 |
| ·氮化钛薄膜表面粗糙度的检验 | 第50-52页 |
| 7 结论与存在的问题 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 作者简历 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |