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化学气相沉积法制备SiBCN界面相的工艺与结构研究

摘要第10-12页
Abstract第12-13页
第一章 绪论第14-28页
    1.1 SiC_f/SiC复合材料界面相研究进展第15-22页
        1.1.1 陶瓷基复合材料界面相的定义第15-16页
        1.1.2 界面相的作用第16-17页
        1.1.3 界面相的类型第17-18页
        1.1.4 界面相的制备工艺第18-19页
        1.1.5 常用界面相材料第19-22页
    1.2 SiBCN陶瓷的研究进展第22-25页
        1.2.1 SiBCN陶瓷的性能优势第22页
        1.2.2 SiBCN陶瓷的制备方法第22-25页
    1.3 论文选题背景、研究目的和内容第25-28页
        1.3.1 选题背景第25-26页
        1.3.2 研究目的和内容第26-28页
第二章 实验及表征方法第28-38页
    2.1 实验原料及仪器设备第28-30页
    2.2 实验方法及过程第30-34页
        2.2.0 CVD工艺制备SiBCN涂层第30页
        2.2.1 不同沉积温度下SiBCN涂层的制备第30-31页
        2.2.2 不同系统压强下SiBCN涂层的制备第31-32页
        2.2.3 不同反应气源总流量下SiBCN涂层的制备第32页
        2.2.4 不同BZ/LPCS比例下SiBCN涂层的制备第32-33页
        2.2.5 BN界面相的制备工艺第33页
        2.2.6 SiCf/SiC复合材料成型工艺第33-34页
    2.3 分析表征方法第34-38页
        2.3.1 组成、结构与形貌分析第34-35页
        2.3.2 性能测试第35-38页
第三章 SiBCN涂层的制备工艺研究第38-65页
    3.1 沉积温度对SiBCN涂层的影响第38-49页
        3.1.1 沉积温度对SiBCN涂层沉积速率的影响第38-40页
        3.1.2 沉积温度对SiBCN涂层沉积均匀性的影响第40-42页
        3.1.3 沉积温度对SiBCN涂层微观形貌的影响第42-44页
        3.1.4 沉积温度对SiBCN涂层组成结构的影响第44-49页
    3.2 系统压强对SiBCN涂层的影响第49-56页
        3.2.1 系统压强对SiBCN涂层沉积速率的影响第49-50页
        3.2.2 系统压强对SiBCN涂层沉积均匀性的影响第50页
        3.2.3 系统压强对SiBCN涂层微观形貌的影响第50-53页
        3.2.4 系统压强对SiBCN涂层组成结构的影响第53-56页
    3.3 反应气源总流量对SiBCN涂层的影响第56-62页
        3.3.1 反应气源总流量对SiBCN涂层沉积速率的影响第56-57页
        3.3.2 反应气源总流量对SiBCN涂层沉积均匀性的影响第57页
        3.3.3 反应气源总流量对SiBCN涂层微观形貌的影响第57-60页
        3.3.4 反应气源总流量对SiBCN涂层组成结构的影响第60-62页
    3.4 BZ/LPCS比对SiBCN涂层的影响第62-63页
    3.5 本章小结第63-65页
第四章 SiBCN涂层对SiC纤维性能的影响第65-70页
    4.1 SiBCN涂层对SiC纤维拉伸强度的影响第65-67页
    4.2 SiBCN涂层对SiC纤维电阻率的影响第67-68页
    4.3 SiBCN涂层对SiC纤维抗氧化性能的影响第68-69页
    4.4 本章小结第69-70页
第五章 SiBCN界面相对SiCf/SiC复合材料性能的影响第70-80页
    5.1 SiBCN界面相对SiCf/SiC复合材料力学性能的影响第70-74页
        5.1.1 不同厚度SiBCN界面相对SiCf/Si C复合材料力学性能的影响第70-72页
        5.1.2 SiCf/SiC复合材料的断面形貌第72-73页
        5.1.3 SiBCN界面相对复合材料力学性能的影响机制第73-74页
    5.2 SiBCN界面相对SiCf/SiC复合材料的抗氧化性能的影响第74-78页
        5.2.1 氧化后复合材料重量变化及残余强度第74-77页
        5.2.2 SiCf/SiBCN/SiC与SiCf/BN/SiC复合材料的抗氧化性能的比较第77-78页
    5.3 SiBCN界面相对SiCf/SiC复合材料介电性能的影响第78-79页
    5.4 本章小结第79-80页
结束 语第80-82页
致谢第82-83页
参考文献第83-90页
作者在校期间取得的学术成果第90页

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