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无铅微互连焊点形成过程中早期界面反应和过冷凝固行为研究

摘要第1-7页
Abstract第7-16页
第一章 绪论第16-32页
   ·选题背景与意义第16-17页
   ·电子封装无铅钎料概述第17-18页
   ·电子封装工艺概述第18-20页
   ·无铅钎料及焊点过冷凝固行为的研究进展第20-25页
     ·无铅钎料凝固行为与显微组织的关系第20-22页
     ·合金元素对钎料及焊点过冷行为的影响第22-24页
     ·界面金属层对焊点过冷行为的影响第24-25页
     ·几何尺寸对钎料及焊点过冷行为的影响第25页
   ·无铅微互连焊点早期界面反应及界面 IMC 形成机理的研究进展第25-29页
   ·本论文的研究目的和主要研究内容第29-32页
第二章 实验材料与实验方法第32-36页
   ·Sn 基合金的熔炼与制备方法第32页
   ·界面金属基底层的制备方法第32-33页
   ·采用 DSC 研究钎料熔化和凝固行为的方法第33页
   ·采用 DSC 研究早期界面反应和进行等温时效的方法第33-34页
   ·钎料及焊点的显微组织分析方法第34-36页
第三章 Sn 基无铅钎料及其焊点的过冷凝固行为与组织演化第36-69页
   ·稀土改性 Sn-Cu-Ni 无铅钎料的过冷凝固行为第36-45页
     ·Sn-Cu-Ni-xMRE 无铅钎料的熔化与凝固行为第36-39页
     ·Sn-Cu-Ni-xMRE 无铅钎料的显微组织分析第39-42页
     ·微量稀土元素对 Sn-Cu-Ni 钎料过冷凝固行为的影响第42-45页
   ·Sn/Cu(Ag, Ni, Co)二元互连体系的过冷凝固行为与显微组织第45-49页
     ·Sn/Cu(Ag ,Ni, Co)二元互连体系中钎料的熔化与凝固行为第46-47页
     ·Sn/Cu(Ag, Ni, Co)二元互连体系的界面显微组织分析第47-49页
   ·界面作用对 Sn-3.5Ag/Cu 三元互连体系过冷凝固行为的影响第49-54页
     ·Sn-3.5Ag/Al 和 Sn-3.5Ag/Cu 三元互连体系中钎料的熔化与凝固行为第50-51页
     ·钎料中 Cu 含量对 Sn-3.5Ag 钎料过冷凝固行为的影响第51-53页
     ·界面作用对 Sn-3.5Ag/Cu 三元互连体系过冷凝固行为的影响第53-54页
   ·Sn-3.0Ag-0.5Cu 焊球及 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点过冷凝固行为的尺寸效应第54-67页
     ·Sn-3.0Ag-0.5Cu 焊球及 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点的熔化与凝固行为第54-57页
     ·影响 Sn-3.0Ag-0.5Cu 焊球及其焊点过冷凝固行为的尺度因素第57-58页
     ·Sn-3.0Ag-0.5Cu 焊球及 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点的显微组织分析第58-65页
     ·界面反应对 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点过冷凝固行为与显微组织的影响第65-67页
   ·本章小结第67-69页
第四章 Sn 基无铅钎料互连体系早期界面反应及界面 IMC 的形成与演化第69-96页
   ·引言第69-70页
   ·Sn/Cu(Ag)二元互连体系早期界面反应与界面 IMC 的形成与演化第70-84页
     ·Sn/Cu 和 Sn/Ag 二元互连体系在接近钎料熔化温度时的早期界面反应第70-80页
     ·Sn/Cu 和 Sn/Ag 二元互连体系在界面反应过程中的组织演化规律第80-84页
   ·Sn-3.5Ag/Cu 三元互连体系早期界面反应和界面 IMC 的形成与演化第84-94页
     ·Sn-3.5Ag/Cu 三元互连体系在接近钎料熔化温度时的早期界面反应第84-92页
     ·Sn-3.5Ag/Cu 三元互连体系在界面反应过程中的组织演化规律第92-94页
   ·本章小结第94-96页
第五章 BGA 结构 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点在接近及高于钎料熔化温度时界面 IMC 的生长与 Cu 基底的溶蚀行为第96-117页
   ·实验材料与方法第96-97页
   ·BGA 结构 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点在接近及高于钎料熔化温度时效后的显微组织第97-104页
     ·BGA 结构 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点的基体显微组织第97-100页
     ·BGA 结构 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点的界面显微组织第100-104页
   ·BGA 结构 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点在接近及高于钎料熔化温度时界面 IMC 的生长行为第104-110页
   ·BGA 结构 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 焊点在接近及高于钎料熔化温度时 Cu 基底的溶蚀行为第110-116页
   ·本章小结第116-117页
第六章 全文总结第117-121页
参考文献第121-132页
攻读博士学位期间取得的研究成果第132-135页
致谢第135-136页
附件第136页

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