| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 各类地震检波器对比分析 | 第13-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第17-19页 |
| 1.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 MET地震检波器工作原理及样机设计制作 | 第20-34页 |
| 2.1 MET地震检波器简介 | 第20-22页 |
| 2.2 MET低频地震检波器的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.3 MET低频地震检波器敏感芯片的设计与制备 | 第23-28页 |
| 2.3.1 LTCC工艺 | 第23-25页 |
| 2.3.2 敏感芯片的设计 | 第25-26页 |
| 2.3.3 核心敏感芯片加工制作过程出现的问题 | 第26-28页 |
| 2.4 腔体结构设计 | 第28-29页 |
| 2.5 外部调理电路的设计 | 第29-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 MET低频地震检波器 1/f噪声测试分析 | 第34-50页 |
| 3.1 MET低频地震检波器自噪声 | 第34-37页 |
| 3.1.1 电路噪声 | 第34-35页 |
| 3.1.2 热噪声 | 第35-36页 |
| 3.1.3 1/f噪声 | 第36-37页 |
| 3.2 MET低频地震检波器灵敏度标定 | 第37-40页 |
| 3.3 MET低频地震检波器噪声测试系统的搭建 | 第40-42页 |
| 3.4 测试数据及数据处理程序 | 第42-44页 |
| 3.5 MET低频地震检波器 1/f噪声参数估计 | 第44-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 MET地震检波器 1/f噪声多物理场仿真模型分析 | 第50-68页 |
| 4.1 数值计算的相关算法 | 第50-52页 |
| 4.1.1 有限差分法 | 第51页 |
| 4.1.2 有限元法 | 第51-52页 |
| 4.2 COMSOL Multiphysics软件相关介绍 | 第52-53页 |
| 4.3 敏感元件单通道数值模拟 | 第53-56页 |
| 4.4 敏感元件单通道仿真模型的建立 | 第56-60页 |
| 4.5 MET地震检波器基本参数对 1/f噪声的影响 | 第60-66页 |
| 4.5.1 敏感元件结构对 1/f噪声的影响 | 第61-63页 |
| 4.5.2 电解液浓度对 1/f噪声的影响 | 第63-64页 |
| 4.5.3 外部偏置电压对 1/f噪声的影响 | 第64-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 第5章 总结与展望 | 第68-72页 |
| 5.1 全文总结 | 第68-69页 |
| 5.2 未来展望 | 第69-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
