| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 锂离子电池简介 | 第12-16页 |
| 1.1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.1.2 锂离子电池工作原理 | 第13-14页 |
| 1.1.3 全固态薄膜锂电池的概念 | 第14-16页 |
| 1.2 LiCoO_2正极薄膜的研究进展 | 第16-20页 |
| 1.2.1 磁控溅射法制备LiCoO_2薄膜的研究进展 | 第16-18页 |
| 1.2.2 LiCoO_2薄膜包覆改性的研究进展 | 第18-20页 |
| 1.3 无机固态电解质的研究进展 | 第20-25页 |
| 1.3.1 无机固态电解质简介 | 第20-24页 |
| 1.3.2 LiPON电解质薄膜的研究进展 | 第24-25页 |
| 1.4 全固态薄膜锂电池的研究进展 | 第25-27页 |
| 1.5 本文的研究思路 | 第27页 |
| 1.6 本文的结构安排 | 第27-29页 |
| 第二章 实验方法与表征手段 | 第29-37页 |
| 2.1 材料的制备 | 第29-32页 |
| 2.1.1 主要试剂 | 第29-30页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第30页 |
| 2.1.3 磁控溅射镀膜技术简介 | 第30-32页 |
| 2.1.3.1 磁控溅射技术的原理 | 第30-32页 |
| 2.1.3.2 薄膜的制备 | 第32页 |
| 2.2 薄膜材料的结构、组分及形貌测试技术 | 第32-34页 |
| 2.2.1 X射线衍射 | 第32-33页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第33-34页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱 | 第34页 |
| 2.2.4 激光拉曼光谱 | 第34页 |
| 2.3 电极片制备与半电池组装 | 第34-35页 |
| 2.4 电化学性能测试技术 | 第35-37页 |
| 2.4.1 恒流充放电循环测试 | 第35页 |
| 2.4.2 循环伏安法 | 第35-36页 |
| 2.4.3 电化学阻抗谱 | 第36页 |
| 2.4.4 直流极化法 | 第36-37页 |
| 第三章 LiCoO_2薄膜的制备及其包覆改性的研究 | 第37-60页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 LiCoO_2薄膜的制备 | 第37-39页 |
| 3.2.1 基片清洗 | 第37-38页 |
| 3.2.2 溅射镀膜 | 第38-39页 |
| 3.3 LiCoO_2薄膜的分析与结果讨论 | 第39-53页 |
| 3.3.1 LiCoO_2薄膜的电化学性能测试与结果讨论 | 第39-48页 |
| 3.3.1.1 衬底类型对LiCoO_2薄膜电化学性能的影响 | 第39-42页 |
| 3.3.1.2 工作气压对LiCoO_2薄膜电化学性能的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.1.3 溅射功率对LiCoO_2薄膜电化学性能的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.1.4 LiCoO_2薄膜与粉体的电化学性能 | 第44-48页 |
| 3.3.2 LiCoO_2薄膜的结构、组分及形貌测试 | 第48-53页 |
| 3.4 Al_2O_3包覆LiCoO_2薄膜的实验 | 第53-54页 |
| 3.5 Al_2O_3包覆LiCoO_2薄膜的材料分析与表征 | 第54-57页 |
| 3.6 Al_2O_3包覆LiCoO_2薄膜的电化学性能测试与结果讨论 | 第57-59页 |
| 3.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 基于LiCoO_2正极的全固态薄膜锂电池的制备 | 第60-74页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 固态电解质薄膜LiPON | 第60-66页 |
| 4.2.1 磁控溅射法制备Cu/LiPON/Cu三明治结构及其封装 | 第60-62页 |
| 4.2.2 LiPON薄膜的物相、结构与组分表征 | 第62-63页 |
| 4.2.3 LiPON薄膜的电化学性能测试 | 第63-66页 |
| 4.3 全固态薄膜锂电池 | 第66-73页 |
| 4.3.1 全固态薄膜锂电池的结构设计 | 第66-67页 |
| 4.3.2 全固态薄膜锂电池的制备参数与封装 | 第67-69页 |
| 4.3.3 全固态薄膜锂电池的结构与形貌测试 | 第69-71页 |
| 4.3.4 全固态薄膜锂电池的电化学性能测试 | 第71-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 结论与展望 | 第74-76页 |
| 5.1 结论 | 第74-75页 |
| 5.2 展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-84页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第84页 |
