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AlN基Ⅲ族氮化物半导体纳米材料的制备与性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第13-41页
    1.1 引言第13-15页
    1.2 半导体纳米材料基本特征第15-17页
    1.3 III族氮化物纳米材料的研究背景第17-39页
        1.3.1 AlN纳米材料第17-24页
        1.3.2 GaN纳米材料第24-31页
        1.3.3 Al_xGa_(1-x)N纳米材料第31-36页
        1.3.4 氮化物纳米材料的生长机理第36-38页
        1.3.5 目前氮化物纳米材料存在的主要问题第38-39页
    1.4 本课题研究意义及主要研究内容第39-41页
        1.4.1 本课题的研究意义第39-40页
        1.4.2 本课题研究的主要内容第40-41页
第二章 材料制备与表征第41-47页
    2.1 材料制备原料及设备第41-42页
    2.2 实验样品的制备第42-43页
    2.3 主要表征手段第43-47页
        2.3.1 X射线衍射分析第43页
        2.3.2 扫描电子显微镜分析第43-44页
        2.3.3 透射电子显微镜分析第44页
        2.3.4 能谱仪分析第44页
        2.3.5 X射线光电子能谱分析第44-45页
        2.3.6 显微拉曼光谱仪分析第45页
        2.3.7 光致发光光谱分析第45-46页
        2.3.8 场发射性能测试分析第46-47页
第三章 柔性导电衬底上AlN纳米结构的制备及其场发射性能研究第47-70页
    3.1 引言第47-48页
    3.2 石墨片上AlN纳米线的制备及其场发射性能的研究第48-56页
        3.2.1 AlN纳米线的制备第48页
        3.2.2 AlN纳米线的结构与形貌第48-52页
        3.2.3 AlN纳米线的光学性能研究第52-53页
        3.2.4 AlN纳米线的场发射性能研究第53-56页
    3.3 碳布上AlN纳米结构的制备及其场发射性能的研究第56-68页
        3.3.1 AlN纳米结构的制备第56-57页
        3.3.2 AlN纳米结构的结构与形貌第57-61页
        3.3.3 AlN纳米结构的场发射性能研究第61-68页
    3.4 本章小结第68-70页
第四章 不同形貌Al_xGa_(1-x)N纳米材料的制备和性能研究第70-99页
    4.1 引言第70页
    4.2 Al_xGa_(1-x)N纳米结构的制备第70-72页
    4.3 Al_xGa_(1-x)N纳米结构的表征及其生长机理第72-97页
        4.3.1 钉状Al_xGa_(1-x)N纳米结构第72-75页
        4.3.2 针状Al_xGa_(1-x)N纳米结构第75-77页
        4.3.3 棒状Al_xGa_(1-x)N纳米结构第77-78页
        4.3.4 花状Al_xGa_(1-x)N纳米结构第78-82页
        4.3.5 多枝状Al_xGa_(1-x)N纳米结构第82-86页
        4.3.6 塔状Al_xGa_(1-x)N纳米结构第86-89页
        4.3.7 Al_xGa_(1-x)N-GaN核-壳纳米棒第89-97页
    4.4 本章小结第97-99页
第五章 多组分Al_xGa_(1-x)N纳米材料的制备及其光电性能研究第99-116页
    5.1 引言第99页
    5.2 Si片上组分可调Al_xGa_(1-x)N纳米线的制备及其拉曼性能研究第99-105页
        5.2.1 Al_xGa_(1-x)N纳米线的制备第99-100页
        5.2.2 Al_xGa_(1-x)N纳米线的结构与形貌第100-103页
        5.2.3 Al_xGa_(1-x)N纳米线的拉曼性能研究第103-105页
    5.3 碳布上全组分Al_xGa_(1-x)N纳米线的制备及其光电性能研究第105-115页
        5.3.1 Al_xGa_(1-x)N纳米线的制备第105-106页
        5.3.2 Al_xGa_(1-x)N纳米线的结构与形貌第106-111页
        5.3.3 Al_xGa_(1-x)N纳米线的光电性能研究第111-115页
    5.4 本章小结第115-116页
结论与展望第116-118页
参考文献第118-138页
攻读博士学位期间取得的研究成果第138-140页
致谢第140-142页
答辩委员会对论文的评定意见第142页

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