| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 低功耗MEMS热式风速传感器研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 低功耗MEMS热式风速传感器的研究状态 | 第11-17页 |
| 1.2.1 国外低功耗MEMS热式风速传感器的研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2.2 国内低功耗MEMS热式风速传感器的研究进展 | 第14-17页 |
| 1.3 MEMS热式风速传感器工作原理 | 第17-22页 |
| 1.3.1 热式风速传感器的控制模式 | 第17-19页 |
| 1.3.2 热式风速传感器的检测模式 | 第19-22页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第22-23页 |
| 1.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 低功耗MEMS热式风速传感器的结构设计与封装 | 第24-34页 |
| 2.1 低功耗MEMS热式风速传感器的结构设计 | 第24-30页 |
| 2.1.1 传感器的芯片结构设计 | 第24-27页 |
| 2.1.2 传感器的仿真优化 | 第27-30页 |
| 2.2 低功耗MEMS热式风速传感器的制备与封装 | 第30-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 低功耗MEMS热式风速传感器的硬件控制电路与软件算法 | 第34-46页 |
| 3.1 MEMS热式风速传感器硬件控制电路功耗的分析 | 第34-36页 |
| 3.2 低功耗MEMS热式风速传感器的硬件控制电路 | 第36-43页 |
| 3.2.1 基于CP模式的硬件控制电路 | 第37-39页 |
| 3.2.2 基于CTD模式的硬件控制电路 | 第39-43页 |
| 3.3 低功耗MEMS热式风速传感器的软件算法 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 低功耗MEMS热式风速传感器的性能测试分析 | 第46-54页 |
| 4.1 低功耗MEMS热风速传感器的测试系统 | 第46-47页 |
| 4.2 CP模式下低功耗MEMS热式风速传感器的测试分析 | 第47-51页 |
| 4.2.1 传感器的功耗 | 第47页 |
| 4.2.2 传感器的性能 | 第47-51页 |
| 4.3 CTD模式下低功耗MEMS热式风速传感器的测试分析 | 第51-53页 |
| 4.3.1 传感器的功耗 | 第51页 |
| 4.3.2 传感器的性能 | 第51-53页 |
| 4.4 对比与总结 | 第53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 工作总结 | 第54页 |
| 5.2 展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 作者简介 | 第60页 |
