| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·微机电系统 | 第8-9页 |
| ·精密定位技术研究意义 | 第9页 |
| ·微位移工作台的研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究微位移工作台的现状和发展趋势 | 第10-16页 |
| ·国外的微位移工作台的发展状况 | 第10-12页 |
| ·国内的微位移工作台的发展状况 | 第12-16页 |
| ·本课题的来源 | 第16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 微位移工作台的整体结构 | 第18-25页 |
| ·微位移工作台应用背景 | 第18-19页 |
| ·微位移工作台的结构设计 | 第19-23页 |
| ·微位移工作台的粗定位机构 | 第20-22页 |
| ·微位移工作台的精定位机构 | 第22页 |
| ·设计的微位移工作台 | 第22-23页 |
| ·微位移工作台的驱动电源 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 微位移工作台的精定位机构之压电陶瓷驱动器 | 第25-38页 |
| ·压电陶瓷驱动器的工作原理 | 第25-29页 |
| ·压电效应 | 第25-28页 |
| ·电致伸缩效应 | 第28-29页 |
| ·压电陶瓷驱动器的原理 | 第29-30页 |
| ·压电陶瓷驱动器的特性 | 第30-33页 |
| ·非线性成因分析 | 第31-32页 |
| ·迟滞特性 | 第32页 |
| ·蠕变特性 | 第32-33页 |
| ·压电陶瓷驱动器的迟滞特性研究 | 第33-37页 |
| ·实验的硬件条件和软件环境 | 第33-35页 |
| ·数据采集及其实验结果 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 微位移工作台的精定位机构之柔性铰链 | 第38-55页 |
| ·柔性铰链的基本结构 | 第38-40页 |
| ·柔性铰链的刚度计算 | 第40-42页 |
| ·一般柔性铰链的设计 | 第41-42页 |
| ·直圆型柔性铰链的刚度计算公式 | 第42页 |
| ·直圆型柔性铰链的三种模型 | 第42-48页 |
| ·直圆型柔性铰链的三种模型分析 | 第43-44页 |
| ·直圆型柔性铰链的三种模型性能比较 | 第44-47页 |
| ·直圆型柔性铰链的三种模型刚度FEA 分析 | 第47-48页 |
| ·典型的直圆型柔性铰链的应用 | 第48-53页 |
| ·双平行四杆柔性铰链的恢复力和固有频率的计算 | 第49页 |
| ·有限元建模及其分析 | 第49-50页 |
| ·各个参数对柔性铰链性能的影响及其优化 | 第50-53页 |
| ·柔性铰链的实际结构 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 微位移工作台的驱动电源设计 | 第55-62页 |
| ·微位移工作台的电源驱动设计 | 第55-61页 |
| ·高压稳压电路 | 第56-57页 |
| ·D/A 转换电路 | 第57-59页 |
| ·功率放大电路 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 微位移工作台在白光干涉仪中的应用及数据处理 | 第62-75页 |
| ·微位移工作台在白光干涉仪中的应用 | 第62-64页 |
| ·数据采集软硬件环境的简介 | 第64-66页 |
| ·数据采集系统的软件环境 | 第64-65页 |
| ·数据采集的硬件环境 | 第65-66页 |
| ·数据处理方法 | 第66-68页 |
| ·质心算法 | 第66-68页 |
| ·粗大误差 | 第68页 |
| ·微位移工作台对表面形貌参数的影响 | 第68-74页 |
| ·电源对表面形貌参数的影响 | 第69-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第七章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·全文的总结 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |