| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·蜗杆检测技术的发展及现状 | 第11页 |
| ·位移传感器技术的发展及现状 | 第11-12页 |
| ·精密定位技术的发展及现状 | 第12-13页 |
| ·本文的创新点 | 第13-14页 |
| ·课题来源和主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2 理论基础 | 第16-26页 |
| ·环面蜗杆简介 | 第16-17页 |
| ·环面蜗杆制造误差检测原理及数学模型建立 | 第17-19页 |
| ·单面啮合测量法原理 | 第17页 |
| ·坐标测量法原理及数学模型建立 | 第17-19页 |
| ·位移传感器原理分析 | 第19-23页 |
| ·光栅位移传感器原理分析 | 第19-22页 |
| ·时栅位移传感器原理分析 | 第22-23页 |
| ·空间高精度定位设计基础 | 第23-26页 |
| ·定位控制原理 | 第23-24页 |
| ·时间细分定位原理 | 第24页 |
| ·定位装置 | 第24-26页 |
| 3 整体方案设计 | 第26-36页 |
| ·基本测量原理 | 第26页 |
| ·测量原理的方案比较 | 第26-27页 |
| ·双轴联动蜗杆检测仪测量方案设计 | 第27-28页 |
| ·测量坐标系 | 第28-33页 |
| ·测量坐标系的建立 | 第29-30页 |
| ·坐标系的校准 | 第30-33页 |
| ·关键技术 | 第33-36页 |
| 4 控制系统硬件电路设计 | 第36-50页 |
| ·控制系统设计框图 | 第36-37页 |
| ·基于ARM 的运动控制电路 | 第37-43页 |
| ·ARM 控制器及其外围电路 | 第37-40页 |
| ·步进电机驱动电路 | 第40-42页 |
| ·电感测微仪信号转换电路 | 第42-43页 |
| ·基于FPGA 的信号检测电路 | 第43-49页 |
| ·信号转换电路 | 第43-44页 |
| ·FPGA 及其内部模块 | 第44-49页 |
| ·信号处理电路板 | 第49-50页 |
| 5 控制系统软件设计 | 第50-62页 |
| ·通信协议 | 第50-54页 |
| ·通讯方基本构成 | 第50页 |
| ·握手协议 | 第50-51页 |
| ·下传协议 | 第51-52页 |
| ·上传协议 | 第52-53页 |
| ·通讯过程约定 | 第53-54页 |
| ·下位机软件设计 | 第54-62页 |
| ·下位机总体设计方案 | 第54-55页 |
| ·定位状态软件设计 | 第55-58页 |
| ·检测状态软件设计 | 第58-62页 |
| 6 实验研究 | 第62-68页 |
| ·精密定位验证实验 | 第62-65页 |
| ·环面蜗杆制造误差检测验证实验 | 第65-68页 |
| 7 结论 | 第68-70页 |
| ·总结 | 第68页 |
| ·展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 个人简历、 在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第74页 |