| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 低介电材料概述 | 第9页 |
| 1.2 低介电材料的基本特征 | 第9-14页 |
| 1.2.1 低介电材料的介电损耗和介电常数 | 第9-14页 |
| 1.3 多孔低介电材料简介 | 第14-16页 |
| 1.3.1 多孔低介电材料的分类及介电常数的模拟计算方法 | 第14-16页 |
| 1.3.2 多孔低介电薄膜材料目前存在及需要解决的问题 | 第16页 |
| 1.4 低介电常数薄膜和聚合物/无机纳米粒子复合材料制备方法 | 第16-19页 |
| 1.4.1 低介电常数薄膜的制备工艺 | 第16-18页 |
| 1.4.2 聚合物/无机纳米复合材料制备方法 | 第18-19页 |
| 1.5 选题意义 | 第19-21页 |
| 2 无机纳米粒子制备及表征 | 第21-35页 |
| 2.1 引言 | 第21-23页 |
| 2.1.1 椭球形 α-Fe_2O_3粒子的制备技术研究 | 第21-22页 |
| 2.1.2 层状MnO_2纳米粒子制备技术研究 | 第22页 |
| 2.1.3 球形SiO_2纳米粒子制备技术研究 | 第22-23页 |
| 2.2 实验原料与仪器、表征 | 第23-25页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第23-24页 |
| 2.2.2 主要实验仪器 | 第24-25页 |
| 2.2.3 表征 | 第25页 |
| 2.3 实验部分 | 第25-27页 |
| 2.3.1 椭球形 α-Fe_2O_3粒子的制备 | 第25-26页 |
| 2.3.2 层状MnO_2纳米粒子制备 | 第26页 |
| 2.3.3 球形SiO_2纳米粒子制备及功能化 | 第26-27页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第27-34页 |
| 2.4.1 椭球形 α-Fe_2O_3制备与表征 | 第27-28页 |
| 2.4.2 层状MnO_2纳米粒子制备与表征 | 第28-29页 |
| 2.4.3 球形SiO_2纳米粒子制备与表征及功能化 | 第29-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 中空PS纳米粒子制备及其与PE复合薄膜介电性能研究 | 第35-54页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 实验原料与仪器、表征 | 第36-39页 |
| 3.2.1 实验原料 | 第36-37页 |
| 3.2.2 主要实验仪器 | 第37-38页 |
| 3.2.3 表征 | 第38-39页 |
| 3.3 实验部分 | 第39-41页 |
| 3.3.1 中空PS纳米粒子的制备 | 第39-40页 |
| 3.3.2 PE复合薄膜的制备 | 第40-41页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第41-53页 |
| 3.4.1 中空PS纳米粒子的制备 | 第41-44页 |
| 3.4.2 纳米多孔复合薄膜的制备 | 第44-48页 |
| 3.4.3 低介电性能 | 第48-50页 |
| 3.4.4 PE/HoPS复合薄膜低介电常数的机理研究 | 第50-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62页 |
