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一种表面等离子体增强的近红外光电探测器的设计与研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9页
第一章 绪论第15-27页
    1.1 红外光电探测器的发展第15-16页
    1.2 红外光电探测器的结构分类与原理第16-22页
        1.2.1 光电导型光电探测器第16-17页
        1.2.2 PN结型光电探测器第17-19页
        1.2.3 肖特基结型红外光电探测器第19-20页
        1.2.4 雪崩光电二极管(APD)第20-21页
        1.2.5 PIN型红外光电探测器第21页
        1.2.6 量子阱红外探测器第21-22页
    1.3 红外光电探测器的特性参数第22-25页
        1.3.1 光学吸收第22页
        1.3.2 暗电流第22-23页
        1.3.3 响应频率和响应时间第23-24页
        1.3.4 响应度和信号的响应度第24页
        1.3.5 归一化探测率(D*)第24-25页
    1.4 表面等离子体技术在光电探测器上的潜在应用价值第25-26页
    1.5 本课题研究背景和意义第26-27页
第二章 铜纳米颗粒的制备及其光学性质第27-37页
    2.1 铜纳米颗粒阵列的制备第27-30页
        2.1.1 纳米球蚀刻技术及其发展第27页
        2.1.2 纳米球掩膜板的制备第27-28页
        2.1.3 铜纳米颗粒阵列的制备与表征第28-30页
    2.2 铜纳米颗粒阵列的表面等离子体第30-33页
        2.2.1 表面等离子体的介绍第30-32页
        2.2.2 铜纳米颗粒阵列的表面等离子体共振第32-33页
    2.3 基于有限元理论模拟不同尺寸铜纳米颗粒阵列的吸收光谱特性第33-36页
        2.3.1 有限元理论模拟的介绍第33页
        2.3.2 基于有限元的方法理论模拟铜纳米颗粒阵列的吸收光谱特性第33-36页
    2.4 本章小结第36-37页
第三章 基于石墨烯电极的红外光电探测器的研究第37-44页
    3.1 引言第37-38页
    3.2 器件的制备第38-40页
        3.2.1 实验材料和药品第38页
        3.2.2 实验仪器及设备第38-39页
        3.2.3 实验过程第39-40页
    3.3 器件的光电学性能的表征第40-42页
    3.4 器件的光电特性分析第42-43页
    3.5 本章小结第43-44页
第四章 基于铜纳米颗粒阵列修饰的石墨烯/硒化镉纳米带肖特基结光电探测器的研究第44-56页
    4.1 器件的制备第44-47页
        4.1.1 实验材料和药品第44-45页
        4.1.2 实验仪器及设备第45页
        4.1.3 实验过程第45-47页
    4.2 器件的光电特性第47-50页
    4.3 器件的光电特性分析第50-55页
    4.4 本章小结第55-56页
第五章 全文总结第56-58页
参考文献第58-62页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第62页

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