| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 致谢 | 第10-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-39页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第15-17页 |
| 1.2 国内外研究现状及进展 | 第17-34页 |
| 1.2.1 压电叠堆微操作器研究现状 | 第18-24页 |
| 1.2.1.1 压电叠堆微夹持器研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2.1.2 压电叠堆微动平台研究现状 | 第20-22页 |
| 1.2.1.3 宏微操作系统研究现状 | 第22-24页 |
| 1.2.2 压电叠堆微操作器建模技术研究现状 | 第24-31页 |
| 1.2.2.1 柔顺机构静/动力学建模研究现状 | 第24-26页 |
| 1.2.2.2 压电迟滞非线性建模研究现状 | 第26-31页 |
| 1.2.3 压电叠堆微操作器控制技术研究现状 | 第31-34页 |
| 1.2.3.1 无需迟滞逆模型的控制方法 | 第31-32页 |
| 1.2.3.2 基于迟滞逆模型的控制方法 | 第32-34页 |
| 1.2.4 大范围宏运动下柔顺机构的振动控制研究现状 | 第34页 |
| 1.3 本文框架及主要研究内容 | 第34-39页 |
| 第二章 多自由度微操作器结构模型及开环特性分析 | 第39-65页 |
| 2.1 引言 | 第39页 |
| 2.2 微夹持器结构模型 | 第39-47页 |
| 2.2.1 微夹持器结构设计 | 第40-42页 |
| 2.2.2 微夹持器静力学模型 | 第42-45页 |
| 2.2.3 微夹持器动力学模型 | 第45-46页 |
| 2.2.4 微夹持器有限元仿真 | 第46-47页 |
| 2.3 微夹持器开环特性 | 第47-51页 |
| 2.3.1 实验系统 | 第47-49页 |
| 2.3.2 位置/夹持力传感器校准 | 第49页 |
| 2.3.3 微夹持器开环特性测试 | 第49-51页 |
| 2.4 XY微动平台结构模型 | 第51-59页 |
| 2.4.1 微动平台结构设计 | 第52-53页 |
| 2.4.2 微动平台静力学模型 | 第53-57页 |
| 2.4.3 微动平台动力学模型 | 第57-58页 |
| 2.4.4 微动平台有限元分析 | 第58-59页 |
| 2.5 XY微动平台开环特性 | 第59-64页 |
| 2.5.1 实验系统 | 第59-60页 |
| 2.5.2 位置检测噪声 | 第60-61页 |
| 2.5.3 微动平台开环特性测试 | 第61-64页 |
| 2.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第三章 微夹持器位置/夹持力同步控制 | 第65-83页 |
| 3.1 引言 | 第65页 |
| 3.2 位置/夹持力控制器设计 | 第65-68页 |
| 3.3 实验研究 | 第68-81页 |
| 3.3.1 左夹持臂位置控制 | 第68-71页 |
| 3.3.2 右夹持臂夹持力控制 | 第71-75页 |
| 3.3.3 微夹持器位置/夹持力同步控制 | 第75-81页 |
| 3.4 本章小结 | 第81-83页 |
| 第四章 Bouc-Wen迟滞模型及参数辨识 | 第83-93页 |
| 4.1 引言 | 第83页 |
| 4.2 Bouc-Wen迟滞模型 | 第83-84页 |
| 4.3 非对称Bouc-Wen迟滞模型 | 第84-85页 |
| 4.4 参数辨识 | 第85-89页 |
| 4.5 实验研究 | 第89-92页 |
| 4.6 本章小结 | 第92-93页 |
| 第五章 多自由度微操作器协同控制 | 第93-107页 |
| 5.1 引言 | 第93页 |
| 5.2 基于Bouc-Wen迟滞模型的复合控制器设计 | 第93-94页 |
| 5.3 微动平台精密定位控制 | 第94-97页 |
| 5.4 多自由度微操作器协同控制 | 第97-105页 |
| 5.4.1 实验系统 | 第98页 |
| 5.4.2 微夹持器分阶段同步控制 | 第98-102页 |
| 5.4.3 微操作器协同控制 | 第102-105页 |
| 5.5 本章小结 | 第105-107页 |
| 第六章 宏微夹持系统非线性耦合建模及轨迹规划 | 第107-127页 |
| 6.1 引言 | 第107页 |
| 6.2 宏微夹持系统系统动力学模型 | 第107-112页 |
| 6.2.1 宏微夹持系统描述 | 第107-109页 |
| 6.2.2 宏微夹持系统动力学方程 | 第109-112页 |
| 6.3 宏微夹持系统数值仿真 | 第112-115页 |
| 6.4 宏微夹持系统轨迹规划 | 第115-120页 |
| 6.4.1 时间最优轨迹 | 第116-117页 |
| 6.4.2 幅值最优轨迹 | 第117-120页 |
| 6.5 实验研究 | 第120-126页 |
| 6.5.1 实验系统 | 第120-121页 |
| 6.5.2 轨迹跟踪与偏移量检测实验 | 第121-124页 |
| 6.5.3 不同宏动轨迹下夹持系统运动时间比较实验 | 第124-125页 |
| 6.5.4 不同宏动轨迹下夹持臂偏移量比较实验 | 第125-126页 |
| 6.6 本章小结 | 第126-127页 |
| 第七章 总结与展望 | 第127-131页 |
| 7.1 主要工作和结论 | 第127-129页 |
| 7.2 展望 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-145页 |
| 攻博期间发表和录用的论文、专利及参加科研情况 | 第145-146页 |
