溶胶—凝胶法纳米氧化锌薄膜导热性能实验研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 课题的提出和研究意义 | 第12页 |
| 1.2 纳米ZnO薄膜概述 | 第12-16页 |
| 1.2.1 氧化锌薄膜材料简介 | 第12-15页 |
| 1.2.2 氧化锌薄膜的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 纳米氧化锌薄膜的制备方法 | 第16-18页 |
| 1.3.1 磁控溅射镀膜法 | 第16-17页 |
| 1.3.2 脉冲激光沉积 | 第17页 |
| 1.3.3 金属有机物化学气相沉积 | 第17-18页 |
| 1.3.4 溶胶一凝胶法 | 第18页 |
| 1.4 薄膜导热系数的实验研究方法 | 第18-22页 |
| 1.4.1 常用薄膜纵向导热系数的测量方法 | 第19-21页 |
| 1.4.2 常用薄膜横向导热系数的测试方法 | 第21-22页 |
| 1.5 本文的主要工作及意义 | 第22-24页 |
| 1.5.1 论文主要工作 | 第22-23页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第23-24页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法氧化锌薄膜的制备 | 第24-38页 |
| 2.1 溶胶-凝胶法制膜原理 | 第24-26页 |
| 2.2 氧化锌前驱体溶液的制备 | 第26-29页 |
| 2.2.1 实验仪器和原料 | 第26-27页 |
| 2.2.2 具体实验操作 | 第27-29页 |
| 2.3 氧化锌薄膜的制备 | 第29-36页 |
| 2.3.1 玻璃纤维上成膜 | 第29-31页 |
| 2.3.2 玻璃片基底上成膜 | 第31-33页 |
| 2.3.3 湿膜的后处理 | 第33-34页 |
| 2.3.4 膜厚测量 | 第34-36页 |
| 2.4 成膜质量的影响因素 | 第36-37页 |
| 2.4.1 溶胶的影响 | 第36页 |
| 2.4.2 成膜基底的影响 | 第36页 |
| 2.4.3 涂层工艺的影响 | 第36页 |
| 2.4.4 后处理的影响 | 第36-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 氧化锌薄膜平面内导热性能研究 | 第38-52页 |
| 3.1 TET实验测量原理 | 第38-42页 |
| 3.1.1 实验数学模型 | 第38-39页 |
| 3.1.2 测量原理 | 第39-40页 |
| 3.1.3 实验数据分析方法 | 第40页 |
| 3.1.4 实验操作与数据采集计算 | 第40-42页 |
| 3.2 实验的影响因素 | 第42-45页 |
| 3.2.1 镀金层的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.2 玻璃纤维的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.3 对流换热的影响 | 第44页 |
| 3.2.4 辐射换热的影响 | 第44-45页 |
| 3.3 氧化锌薄膜面内导热性能实验研究 | 第45-51页 |
| 3.3.1 100℃退火下实验结果 | 第45-49页 |
| 3.3.2 200℃退火下实验结果 | 第49-50页 |
| 3.3.3 玻璃纤维导热实验 | 第50-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 氧化锌薄膜垂直于平面内导热性能研究 | 第52-75页 |
| 4.1 瞬态平面热源法测量原理 | 第52-62页 |
| 4.1.1 测量原理及装置 | 第52-54页 |
| 4.1.2 实验数学模型 | 第54-61页 |
| 4.1.3 “三明治”模型的提出 | 第61-62页 |
| 4.1.4 数据采集与计算 | 第62页 |
| 4.2 测试结果影响因素 | 第62-65页 |
| 4.2.1 接触质量 | 第62-63页 |
| 4.2.2 温度波动 | 第63页 |
| 4.2.3 测试设备误差 | 第63页 |
| 4.2.4 设备误差校准 | 第63-65页 |
| 4.3 测量系统校准 | 第65-70页 |
| 4.3.1 测试参数的确定 | 第65-66页 |
| 4.3.2 实验系统校准 | 第66-69页 |
| 4.3.3 热量探测深度 | 第69-70页 |
| 4.4 制膜工艺对氧化锌薄膜导热影响探究 | 第70-74页 |
| 4.4.1 膜厚对导热性能影响 | 第71-72页 |
| 4.4.2 退火温度对导热性能影响 | 第72-74页 |
| 4.4.3 退火时间对导热性能影响 | 第74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 结论与展望 | 第75-78页 |
| 5.1 本文研究结论 | 第75-76页 |
| 5.2 对未来工作的展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
