掩模台机械系统设计及仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究状况 | 第9-12页 |
| ·国外光刻机的研究状况 | 第9-10页 |
| ·国内光刻机的研究状况 | 第10-11页 |
| ·掩模台关键技术研究 | 第11-12页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 结构设计及优化 | 第13-24页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·掩模微动台 | 第13-18页 |
| ·掩模板的选材和定位安装 | 第13-15页 |
| ·微动台的驱动、支撑和测量 | 第15-16页 |
| ·掩模框架的设计 | 第16-18页 |
| ·微动台整体结构 | 第18页 |
| ·掩模宏动台 | 第18-23页 |
| ·掩模连接板的设计 | 第19-20页 |
| ·掩模支撑板的设计及结构优化 | 第20-21页 |
| ·平衡质量块的设计 | 第21-23页 |
| ·基座及掩模台整体结构 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 掩模台静动态分析 | 第24-33页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·掩模板静力分析 | 第24-25页 |
| ·微动台瞬态分析 | 第25-26页 |
| ·掩模支撑系统动力学分析 | 第26-28页 |
| ·掩模支撑系统瞬态分析 | 第26-27页 |
| ·掩模支撑系统谐分析 | 第27-28页 |
| ·掩模基座系统动力学分析 | 第28-32页 |
| ·掩模基座系统模态分析 | 第30-31页 |
| ·基座系统瞬态分析 | 第31页 |
| ·基座系统随机振动分析 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 气浮导轨设计 | 第33-43页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·静压气浮导轨技术 | 第33-35页 |
| ·节流器的选用 | 第33-34页 |
| ·确定气浮导轨的结构 | 第34-35页 |
| ·预加载技术 | 第35页 |
| ·确定仿真试验方案 | 第35-36页 |
| ·建模与求解 | 第36-37页 |
| ·仿真结果分析 | 第37-41页 |
| ·底面气浮的设计 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 掩模板热-结构耦合分析 | 第43-57页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·音圈电机发热引起的温度变化 | 第43-44页 |
| ·极紫外线引起的温度变化 | 第44-47页 |
| ·掩模板的吸热 | 第45-46页 |
| ·掩模板的散热 | 第46页 |
| ·仿真分析结果 | 第46-47页 |
| ·掩模板的变形 | 第47-51页 |
| ·掩模板温度变化引起的变形 | 第47-49页 |
| ·重力和温度场综合引起的变形 | 第49页 |
| ·变形补偿 | 第49-51页 |
| ·改进措施 | 第51-56页 |
| ·减少掩模片的温度变化 | 第51-53页 |
| ·改变真空吸盘与掩模支撑框架的连接 | 第53页 |
| ·改变标记传感器的位置 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
