| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题研究的背景、目的和意义 | 第10-11页 |
| ·共焦测量技术简介及本课题国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·激光扫描共焦显微测量技术简介 | 第11-12页 |
| ·共焦显微测量系统典型的三维扫描技术 | 第12-16页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 共焦显微测量技术 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·共焦显微成像原理 | 第18-24页 |
| ·薄透镜衍射 | 第18-21页 |
| ·共焦显微三维成像技术 | 第21-24页 |
| ·台阶样品共焦测量边缘判据分析 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 基于光束扫描的共焦显微三维测量系统 | 第28-44页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·系统光路设计 | 第28-29页 |
| ·照明与收集光路 | 第29-31页 |
| ·照明光路 | 第29-30页 |
| ·收集光路 | 第30-31页 |
| ·平面扫描系统 | 第31-38页 |
| ·扫描振镜 | 第31-35页 |
| ·F-Theta 透镜 | 第35-37页 |
| ·双振镜横向扫描光路 | 第37-38页 |
| ·轴向扫描系统 | 第38-39页 |
| ·双振镜扫描控制与数据同步采集 | 第39-42页 |
| ·双振镜平面扫描控制 | 第40-42页 |
| ·数据同步采集 | 第42页 |
| ·系统实验平台 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 基于LabVIEW 的系统软件设计 | 第44-65页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·系统软件总体方案设计 | 第44-46页 |
| ·三维扫描控制模块 | 第44-45页 |
| ·数据同步采集与存储模块 | 第45-46页 |
| ·数据处理以及三维图像重构模块 | 第46页 |
| ·功能模块子程序 | 第46-55页 |
| ·振镜扫描波形定义子程序与采样触发数字脉冲子程序 | 第47-51页 |
| ·PI E-816 载物镜微位移台位置初始化子程序与步进移动子程序 | 第51页 |
| ·扫描信息生成子程序及说明信息存储子程序 | 第51-53页 |
| ·原始采样数据共焦层析抽取子程序 | 第53-54页 |
| ·共焦三维扫描数据处理子程序 | 第54-55页 |
| ·共焦三维测量系统主程序 | 第55-63页 |
| ·光束扫描共焦三维测量与数据同步采集主程序 | 第55-62页 |
| ·基于光束扫描的共焦三维测量样品形貌重构主程序 | 第62-63页 |
| ·系统软件项目管理 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 系统实验结果及分析 | 第65-78页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·振镜扫描误差分析 | 第65-71页 |
| ·Y 向扫描分析 | 第66-68页 |
| ·X 向步进分析 | 第68-71页 |
| ·典型的微结构样品共焦三维测量实验 | 第71-77页 |
| ·标准分辨率板测量实验 | 第71-72页 |
| ·标准光栅测量实验 | 第72-74页 |
| ·微加速度计测量实验 | 第74-75页 |
| ·微电路板测量实验 | 第75-76页 |
| ·微透镜测量实验 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |