| 缩略语 | 第1-13页 |
| 摘要 | 第13-16页 |
| ABSTRACT | 第16-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-46页 |
| ·氮化硼薄膜的研究背景 | 第19-21页 |
| ·氮化硼薄膜的性能和应用前景 | 第21-27页 |
| ·电学性能和应用 | 第21-23页 |
| ·力学性能和应用 | 第23-24页 |
| ·抗氧化性能和应用 | 第24-25页 |
| ·光学性能和应用 | 第25-26页 |
| ·其他性能和应用 | 第26-27页 |
| ·氮化硼薄膜的制备工艺 | 第27-44页 |
| ·微机械剥离工艺 | 第27-28页 |
| ·液相剥离工艺 | 第28-29页 |
| ·球磨剥离工艺 | 第29-30页 |
| ·高能物理法 | 第30-32页 |
| ·高温碳热还原工艺 | 第32-33页 |
| ·尿素液相反应工艺 | 第33-35页 |
| ·先驱体自鼓泡法 | 第35-36页 |
| ·氮化硼薄膜的化学气相沉积工艺 | 第36-44页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第44-46页 |
| 第二章 实验过程与研究方法 | 第46-61页 |
| ·原材料和试剂 | 第46-48页 |
| ·衬底的预处理工艺 | 第48-50页 |
| ·镍衬底的清洗预处理 | 第48页 |
| ·镍衬底的退火热处理 | 第48-49页 |
| ·铜衬底的机械抛光和电化学抛光 | 第49-50页 |
| ·铜箔的清洗预处理和退火热处理 | 第50页 |
| ·采用CVD工艺制备氮化硼薄膜 | 第50-54页 |
| ·先驱体Borazine鼓泡系统 | 第51-52页 |
| ·CVD薄膜制备系统 | 第52-54页 |
| ·衬底上氮化硼薄膜的转移方法 | 第54-55页 |
| ·金属衬底上氮化硼薄膜的转移 | 第54-55页 |
| ·石墨烯/SiO2/Si衬底上氮化硼/石墨烯薄膜的转移 | 第55页 |
| ·碳气凝胶衬底上氮化硼薄膜的转移 | 第55页 |
| ·氮化硼薄膜的组成、结构和形貌分析 | 第55-61页 |
| 第三章 镍衬底表面氮化硼薄膜制备和层数控制 | 第61-86页 |
| ·CVD工艺对镍衬底表面氮化硼薄膜的影响 | 第61-69页 |
| ·反应温度对氮化硼薄膜的的影响 | 第62-64页 |
| ·反应时间对氮化硼薄膜的的影响 | 第64-66页 |
| ·反应稀释气对氮化硼薄膜的影响 | 第66-68页 |
| ·氮化硼薄膜制备的化学机理 | 第68-69页 |
| ·氮化硼薄膜的原子层数控制 | 第69-79页 |
| ·氮化硼薄膜原子层数控制 | 第70-73页 |
| ·原子层数控制机理 | 第73-79页 |
| ·Ni/Si复合衬底表面单原子层氮化硼薄膜制备 | 第79-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第四章 铜衬底表面氮化硼单晶和薄膜的制备 | 第86-109页 |
| ·反应条件对氮化硼薄膜的影响及其机理探讨 | 第86-102页 |
| ·CVD温度对氮化硼单晶形貌的影响 | 第87-90页 |
| ·CVD时间对氮化硼单晶和薄膜形貌的影响 | 第90-92页 |
| ·CVD气体种类对氮化硼单晶和薄膜形貌的影响 | 第92-95页 |
| ·CVD气体比例对氮化硼单晶和薄膜形貌的影响 | 第95-98页 |
| ·未抛光Cu衬底表面的氮化硼晶畴和薄膜 | 第98-99页 |
| ·富氧Cu衬底表面的氮化硼晶畴和薄膜 | 第99-102页 |
| ·铜衬底表面氮化硼薄膜进一步表征以及与镍衬底的比较 | 第102-106页 |
| ·铜衬底氮化硼薄膜的进一步表征 | 第102-105页 |
| ·铜衬底与镍衬底CVD生长对比 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-109页 |
| 第五章 碳材料表面氮化硼薄膜的制备 | 第109-133页 |
| ·石墨烯衬底表面氮化硼薄膜的制备 | 第109-119页 |
| ·CVD温度对石墨烯表面氮化硼晶畴的影响 | 第110-112页 |
| ·CVD时间对石墨烯表面氮化硼晶畴的影响 | 第112-114页 |
| ·石墨烯表面氮化硼的测试表征 | 第114-119页 |
| ·以碳气凝胶为模板制备氮化硼气凝胶 | 第119-131页 |
| ·碳气凝胶的形貌 | 第120-121页 |
| ·采用模板辅助CVD法制备氮化硼气凝胶 | 第121-127页 |
| ·超低密度氮化硼气凝胶 | 第127-131页 |
| ·本章小结 | 第131-133页 |
| 第六章 氮化硼薄膜的特性研究 | 第133-146页 |
| ·氮化硼薄膜的光学特性 | 第133-136页 |
| ·氮化硼薄膜的抗氧化性能 | 第136-137页 |
| ·氮化硼薄膜的电阻特性 | 第137-139页 |
| ·氮化硼气凝胶的抗氧化特性 | 第139-141页 |
| ·氮化硼气凝胶的超疏水和可重复吸油特性 | 第141-144页 |
| ·本章小结 | 第144-146页 |
| 第七章 结论与展望 | 第146-149页 |
| ·全文主要结论 | 第146-147页 |
| ·论文创新点 | 第147-148页 |
| ·后续工作展望 | 第148-149页 |
| 致谢 | 第149-151页 |
| 参考文献 | 第151-170页 |
| 攻读博士学位期间取得的学术成果 | 第170页 |