| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 综述 | 第10-26页 |
| ·论文的研究背景及意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第10-24页 |
| ·激光直线度测量方法现状 | 第11-16页 |
| ·阿贝误差及其补偿方法研究现状 | 第16-24页 |
| ·论文的研究内容及组织结构 | 第24-26页 |
| 第二章 激光外差干涉直线度测量的阿贝误差检测及补偿分析 | 第26-48页 |
| ·本章概述 | 第26页 |
| ·激光外差直线度及其位置测量结构及原理 | 第26-28页 |
| ·系统阿贝误差检测光路结构 | 第28-29页 |
| ·系统阿贝误差检测的建模及分析 | 第29-43页 |
| ·俯仰角及偏摆角检测 | 第29-31页 |
| ·滚转角及水平直线度检测 | 第31-43页 |
| ·分析模型及坐标定义 | 第31-32页 |
| ·角度旋转前后测量镜光斑位置分析 | 第32-38页 |
| ·渥拉斯顿镜对返回光束影响分析 | 第38-41页 |
| ·四象限探测器光斑位置分析及检测结果 | 第41-43页 |
| ·系统阿贝误差的补偿方法研究 | 第43-47页 |
| ·补偿思路 | 第43-44页 |
| ·测量镜内部的光程分析 | 第44-46页 |
| ·测量镜外部的光程分析 | 第46-47页 |
| ·直线度及其位移的补偿表达式 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 信号处理系统的研制 | 第48-65页 |
| ·本章概述 | 第48页 |
| ·系统信号处理总体方案设计 | 第48-49页 |
| ·激光外差干涉信号处理方法 | 第49-58页 |
| ·光电探测器信号采集 | 第49-51页 |
| ·信号预处理电路 | 第51-55页 |
| ·基于 FPGA 的信号处理方法 | 第55-58页 |
| ·阿贝误差检测信号处理 | 第58-62页 |
| ·位置探测器信号处理 | 第58-60页 |
| ·四象限探测器信号处理 | 第60-62页 |
| ·系统软件设计 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 实验与误差分析 | 第65-110页 |
| ·本章概述 | 第65页 |
| ·系统整体结构搭建 | 第65-66页 |
| ·单参数检测实验 | 第66-81页 |
| ·俯仰角检测及比对实验 | 第66-70页 |
| ·偏摆角检测及比对实验 | 第70-73页 |
| ·滚转角检测及比对实验 | 第73-77页 |
| ·水平直线度检测及比对实验 | 第77-81页 |
| ·阿贝误差补偿实验 | 第81-96页 |
| ·直线度补偿实验 | 第81-91页 |
| ·位移补偿实验 | 第91-96页 |
| ·系统重复性实验 | 第96-98页 |
| ·系统测量误差分析 | 第98-108页 |
| ·环境干扰误差 | 第99-101页 |
| ·光学元件制造及安装误差 | 第101-107页 |
| ·探测器探测精度误差 | 第107-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 第五章 总结与展望 | 第110-113页 |
| ·总结 | 第110-111页 |
| ·主要创新点 | 第111-112页 |
| ·展望 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第11页 |