| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-23页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·MEMS器件中摩擦学问题解决方法 | 第10-12页 |
| ·减小MEMS器件粘附力的方法 | 第10-11页 |
| ·减小MEMS器件摩擦磨损的方法 | 第11-12页 |
| ·减小MEMS器件粘附和摩擦磨损的方法小结 | 第12页 |
| ·MEMS器件表面镀膜方法 | 第12-18页 |
| ·MEMS器件镀膜需求 | 第12-13页 |
| ·薄膜沉积工艺简介 | 第13页 |
| ·原子层沉积工艺 | 第13-18页 |
| ·原子层沉积薄膜摩擦特性研究现状 | 第18-21页 |
| ·已应用于MEMS器件的薄膜 | 第18-20页 |
| ·有潜力应用于MEMS器件的薄膜 | 第20-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 薄膜沉积设备及薄膜表征 | 第23-40页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·原子层沉积设备 | 第23-24页 |
| ·薄膜表征 | 第24-28页 |
| ·薄膜厚度 | 第24页 |
| ·薄膜形貌 | 第24页 |
| ·薄膜结构 | 第24-25页 |
| ·薄膜成分 | 第25页 |
| ·薄膜孔隙率 | 第25-27页 |
| ·薄膜润湿性 | 第27页 |
| ·薄膜硬度和弹性模量 | 第27页 |
| ·薄膜与基体结合强度 | 第27-28页 |
| ·薄膜摩擦特性测试 | 第28-39页 |
| ·宏观摩擦特性测试 | 第28页 |
| ·纳米摩擦特性测试 | 第28-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 氧化锌薄膜宏观摩擦特性研究 | 第40-61页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·ZnO薄膜制备工艺 | 第40-41页 |
| ·ZnO薄膜宏观摩擦特性 | 第41-59页 |
| ·纳晶特性对宏观摩擦特性的影响 | 第41-49页 |
| ·晶粒大小和取向对宏观摩擦特性的影响 | 第49-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第4章 氧化锌薄膜纳米摩擦特性研究 | 第61-76页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·ZnO薄膜制备工艺及表征 | 第61-66页 |
| ·ZnO薄膜纳米摩擦特性 | 第66-74页 |
| ·粘附力对ZnO薄膜纳米摩擦特性的影响 | 第66-72页 |
| ·力学特性对ZnO薄膜纳米摩擦特性的影响 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 氧化铝薄膜摩擦特性研究 | 第76-103页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·Al_2O_3薄膜制备工艺 | 第76-78页 |
| ·Al_2O_3薄膜宏观摩擦特性 | 第78页 |
| ·Al_2O_3薄膜纳米摩擦特性 | 第78-101页 |
| ·Al_2O_3薄膜表征 | 第79-92页 |
| ·粘附力对Al_2O_3薄膜纳米摩擦特性的影响 | 第92-98页 |
| ·力学特性对Al_2O_3薄膜纳米摩擦特性的影响 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 第6章 硫化物薄膜摩擦特性研究 | 第103-119页 |
| ·引言 | 第103页 |
| ·ZnS薄膜制备工艺及宏观摩擦特性 | 第103-111页 |
| ·ZnS薄膜制备工艺 | 第103-104页 |
| ·ZnS薄膜表征 | 第104-107页 |
| ·ZnS薄膜宏观摩擦特性 | 第107-111页 |
| ·TiS_2薄膜制备工艺及宏观摩擦特性 | 第111-117页 |
| ·TiS_2薄膜制备工艺 | 第111-112页 |
| ·TiS_2薄膜表征 | 第112-116页 |
| ·TiS_2薄膜宏观摩擦特性 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-119页 |
| 第7章 原子层沉积薄膜在单晶硅微摩擦测试系统的应用 | 第119-150页 |
| ·引言 | 第119页 |
| ·原子层沉积薄膜摩擦特性讨论 | 第119-121页 |
| ·宏观摩擦特性和纳米摩擦特性区别 | 第119-120页 |
| ·原子层沉积薄膜摩擦特性小结 | 第120-121页 |
| ·单晶硅微摩擦特性测试系统 | 第121-130页 |
| ·测试系统简介 | 第121-122页 |
| ·测试系统原理 | 第122-124页 |
| ·硅基MEMS微摩擦器件 | 第124-129页 |
| ·位置检测系统 | 第129-130页 |
| ·体硅加工工艺 | 第130-133页 |
| ·体硅加工工艺流程 | 第130-131页 |
| ·体硅工艺失效形式 | 第131-133页 |
| ·体硅工艺加工的MEMS微摩擦器件 | 第133-135页 |
| ·MEMS微摩擦器件结构 | 第133-135页 |
| ·MEMS微摩擦器件封装 | 第135页 |
| ·MEMS微摩擦器件摩擦特性测试 | 第135-144页 |
| ·MEMS微摩擦器件粘附力测试 | 第135-140页 |
| ·MEMS微摩擦器件静摩擦力测试 | 第140-144页 |
| ·原子层沉积薄膜在MEMS微摩擦器件中的应用 | 第144-149页 |
| ·氧化铝薄膜在MEMS微摩擦器件中的应用 | 第144-147页 |
| ·氧化锌薄膜在MEMS微摩擦器件中的应用 | 第147-149页 |
| ·本章小结 | 第149-150页 |
| 第8章 结论与展望 | 第150-154页 |
| ·论文主要内容与结论 | 第150-152页 |
| ·论文主要贡献和创新点 | 第152-153页 |
| ·未来工作展望 | 第153-154页 |
| 参考文献 | 第154-167页 |
| 致谢 | 第167-169页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第169-170页 |
| 个人简历 | 第169页 |
| 发表的学术论文 | 第169-170页 |