| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 文献综述与选题 | 第9-20页 |
| ·选题背景 | 第9-10页 |
| ·文献综述 | 第10-15页 |
| ·等离子体分解法 | 第10-11页 |
| ·催化水解法 | 第11-13页 |
| ·无水分解法 | 第13-15页 |
| ·论文选题和研究内容 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-20页 |
| 2 NF_3在 MgO 基脱氟剂上的无水分解 | 第20-32页 |
| ·试剂与仪器 | 第20-21页 |
| ·脱氟剂的制备 | 第21页 |
| ·结构表征 | 第21页 |
| ·NF_3分解反应 | 第21-22页 |
| ·结果与讨论 | 第22-30页 |
| ·V/MgO，Mn/MgO 和 Cr/MgO 脱氟剂的反应活性 | 第22-24页 |
| ·V/MgO，Mn/MgO 和 Cr/MgO 脱氟剂的结构表征 | 第24-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-32页 |
| 3 NF_3在 Al_2O_3基脱氟剂上的无水分解反应 | 第32-43页 |
| ·试剂与仪器 | 第32页 |
| ·脱氟剂的制备 | 第32-33页 |
| ·结构表征 | 第33页 |
| ·NF_3分解反应 | 第33页 |
| ·结果与讨论 | 第33-41页 |
| ·V/Al_2O_3与 Mn/Al_2O_3脱氟剂的反应活性 | 第33-34页 |
| ·V/Al_2O_3与 Mn/Al_2O_3脱氟剂的结构表征 | 第34-39页 |
| ·前驱体对过渡金属氧化物改性 Al_2O_3的活性影响 | 第39-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 4 SF_6在氟化钠-单质硅-金属氧化物三元混合物上的分解反应 | 第43-59页 |
| ·试剂与仪器 | 第43-44页 |
| ·脱氟剂的制备 | 第44页 |
| ·结构表征 | 第44页 |
| ·SF_6的分解反应 | 第44-45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-57页 |
| ·SF_6在 NaF-Si-MO（1:1:1）上的分解反应 | 第45-54页 |
| ·650℃下SF_6在不同组成 NaF-Si-CaO 上的恒温分解反应 | 第54-56页 |
| ·不同温度下SF_6在 NaF-Si-CaO（1: 1: 1）上的恒温分解反应 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 5 结论 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 附录Ⅰ作者简介 | 第62-63页 |
| 附录Ⅱ 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第63-64页 |
