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多孔硅的制备及发光特性的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-20页
   ·多孔硅研究发展概述第7-8页
   ·多孔硅的制备方法第8-11页
   ·多孔硅的形成机理第11-14页
   ·多孔硅的发光机理第14-17页
   ·多孔硅发光材料的应用第17-18页
   ·选题意义及研究内容第18-20页
第二章 电化学阳极腐蚀法制备p型多孔硅实验第20-32页
   ·实验材料第20页
   ·实验仪器和化学试剂第20-21页
   ·实验装置第21-26页
   ·工艺流程第26-31页
   ·测试方法与仪器第31-32页
第三章 p型多孔硅电化学阳极腐蚀法制备条件的研究第32-42页
   ·p型多孔硅表面形貌的参数第32-33页
   ·腐蚀时间对p型多孔硅表面形貌的影响第33-35页
   ·电流密度对p型多孔硅表面相貌的影响第35-38页
   ·HF浓度对p型多孔硅表面形貌的影响第38-41页
 小结第41-42页
第四章 p型多孔硅的光致发光特性的研究第42-50页
   ·腐蚀时间对p型多孔硅光致发光特性的影响第42-43页
   ·电流密度对p型多孔硅光致发光特性的影响第43-44页
   ·HF浓度对p型多孔硅光致发光特性的影响第44-45页
   ·p型多孔硅光致发光特性制备条件的优化第45-48页
 小结第48-50页
结论第50-51页
致谢第51-52页
参考文献第52-55页

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