| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-22页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·超硬薄膜材料介绍 | 第13-14页 |
| ·本征硬质薄膜 | 第13-14页 |
| ·非本征硬质薄膜（微结构强化硬质薄膜） | 第14页 |
| ·纳米复合膜 | 第14-15页 |
| ·纳米复合膜概念及分类 | 第14页 |
| ·纳米复合膜致硬机理 | 第14-15页 |
| ·纳米结构多层膜 | 第15-17页 |
| ·纳米结构多层膜概念及分类 | 第15-16页 |
| ·纳米结构多层膜的致硬机理 | 第16-17页 |
| ·薄膜的摩擦磨损机制及影响因素 | 第17-20页 |
| ·摩擦 | 第17-18页 |
| ·磨损 | 第18-19页 |
| ·摩擦磨损过程 | 第19-20页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第20-22页 |
| ·选题意义 | 第20-21页 |
| ·研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第22-26页 |
| ·薄膜的制备 | 第22-23页 |
| ·实验设备 | 第22页 |
| ·薄膜基片处理方法 | 第22-23页 |
| ·薄膜的表征 | 第23-26页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第23页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第23-24页 |
| ·纳米综合力学测试仪 | 第24页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第24-25页 |
| ·箱式电阻炉 | 第25页 |
| ·热重分析仪 | 第25-26页 |
| 第3章 N_2流量氮化钒薄膜性能的影响 | 第26-41页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·氮化钒薄膜的制备与表征 | 第27-28页 |
| ·氮化钒薄膜的制备 | 第27页 |
| ·氮化钒薄膜的表征 | 第27-28页 |
| ·氮化钒薄膜的微结构与性能 | 第28-40页 |
| ·氮化钒薄膜的沉积速率 | 第28页 |
| ·氮化钒薄膜的微结构 | 第28-31页 |
| ·氮化钒薄膜的力学性能 | 第31-32页 |
| ·氮化钒薄膜的摩擦性能 | 第32-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 W 含量对（V,W）N 复合膜微结构及性能的影响 | 第41-49页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验过程及表征 | 第41-42页 |
| ·复合膜的制备方法 | 第41-42页 |
| ·复合膜的表征 | 第42页 |
| ·（V,W）N 复合膜测试结果 | 第42-48页 |
| ·(V,W)N 复合膜原子百分含量与微结构 | 第42-45页 |
| ·（V,W）N 复合膜的力学性能 | 第45页 |
| ·(V,W)N 复合膜的摩擦性能 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 不同 Al 含量（V,W,Al）N 复合膜微结构及性能研究 | 第49-57页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·复合膜的制备方法及表征 | 第49-50页 |
| ·复合膜的制备方法 | 第49-50页 |
| ·复合膜的表征 | 第50页 |
| ·复合膜的微结构与性能 | 第50-56页 |
| ·（V,W,Al）N 复合膜的成分及微结构 | 第50-51页 |
| ·（V,WAl）N 复合膜的力学性能 | 第51-52页 |
| ·（V,W,Al）N 复合膜的高温抗氧化性能 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 VN/WN 纳米多层膜微结构及性能的研究 | 第57-68页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·薄膜制备及表征 | 第57-58页 |
| ·VN/WN 多层膜的制备 | 第57-58页 |
| ·VN/WN 多层膜的表征 | 第58页 |
| ·实验结果与讨论 | 第58-67页 |
| ·VN/WN 多层膜微结构 | 第58-60页 |
| ·VN/WN 多层膜的显微硬度及弹性模量 | 第60-62页 |
| ·VN/WN 多层膜的摩擦学性能 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 攻读硕士期间论文发表情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |