| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| Contents | 第13-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-28页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·极限服役条件下硬质薄膜的研究现状 | 第17-22页 |
| ·一代涂层：单一组元涂层 | 第19-20页 |
| ·第二代涂层：多层和多元涂层 | 第20-21页 |
| ·第三代涂层：梯度、超晶格和纳米结构涂层 | 第21页 |
| ·第四代涂层：智能涂层（自适应或自转变涂层） | 第21-22页 |
| ·复合膜的致硬机理 | 第22-23页 |
| ·关于薄膜摩擦磨损理论研究 | 第23-26页 |
| ·摩擦理论 | 第23-24页 |
| ·影响摩擦的因素 | 第24-25页 |
| ·磨损 | 第25-26页 |
| ·选题的意义和研究内容 | 第26-28页 |
| ·选题意义 | 第26页 |
| ·研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第28-31页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·薄膜的制备方法与实验设备 | 第28-29页 |
| ·薄膜的制备原理 | 第28页 |
| ·薄膜的制备设备 | 第28页 |
| ·镀膜基片的处理方法 | 第28-29页 |
| ·薄膜的表征方法和表征设备 | 第29-31页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第29页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第29页 |
| ·能量色散谱仪（EDS） | 第29页 |
| ·纳米力学综合测试系统 | 第29-30页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第30-31页 |
| 第3章 Mo-N 薄膜的制备及微观结构与性能研究 | 第31-50页 |
| ·Mo-N 薄膜的制备及性能研究 | 第31-37页 |
| ·实验材料及方法 | 第31-32页 |
| ·实验结果及讨论 | 第32-37页 |
| ·靶功率对 Mo-N 薄膜微结构的影响 | 第32-33页 |
| ·氮分压对 Mo-N 微结构的影响 | 第33-34页 |
| ·负偏压对 Mo-N 微结构的影响 | 第34-35页 |
| ·制备工艺对 Mo-N 薄膜显微硬度的影响 | 第35-36页 |
| ·制备工艺对 Mo-N 薄膜摩擦性能的影响 | 第36-37页 |
| ·结论 | 第37页 |
| ·Mo_2N 薄膜高温摩擦磨损性能研究 | 第37-49页 |
| ·实验方法 | 第38页 |
| ·实验结果及讨论 | 第38-48页 |
| ·不同温度环境下 Mo_2N 薄膜的摩擦性能 | 第38-44页 |
| ·不同温度环境下 Mo_2N 薄膜的磨损性能 | 第44-48页 |
| ·结论 | 第48-49页 |
| ·结论 | 第49-50页 |
| 第4章 Mo 对 TiN 基薄膜微观结构和性能的影响 | 第50-76页 |
| ·Mo 含量对 TiMoN 薄膜微观组织、力学及室温摩擦磨损性能的影响 | 第50-59页 |
| ·实验方法 | 第50-51页 |
| ·实验结果及讨论 | 第51-58页 |
| ·TiMoN 薄膜的微观组织及力学性能 | 第51-54页 |
| ·TiMoN 薄膜室温下的摩擦磨损性能 | 第54-58页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| ·环境温度对 TiMoN 薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第59-66页 |
| ·实验方法 | 第60页 |
| ·实验结果及讨论 | 第60-66页 |
| ·环境温度对 TiMoN 薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第60-66页 |
| ·结论 | 第66页 |
| ·Mo 含量对 TiAlMoN 薄膜微观组织及摩擦性能的影响 | 第66-74页 |
| ·实验方法 | 第67-68页 |
| ·实验结果及讨论 | 第68-73页 |
| ·结论 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 Al 对 TiN 及 Mo_2N 基薄膜微观结构及性能的影响 | 第76-94页 |
| ·Al 含量对 TiAlN 薄膜微观组织、力学及室温摩擦磨损性能的影响 | 第76-83页 |
| ·实验方法 | 第76-77页 |
| ·实验结果及讨论 | 第77-82页 |
| ·TiAlN 薄膜的微结构及力学性能 | 第77-80页 |
| ·Al 含量对 TiAlN 薄膜摩擦性能的影响 | 第80-82页 |
| ·结论 | 第82-83页 |
| ·Al 含量对 MoAlN 薄膜微观组织、力学及室温摩擦磨损性能的影响 | 第83-93页 |
| ·实验方法 | 第84-85页 |
| ·实验结果及讨论 | 第85-93页 |
| ·MoAlN 薄膜的微观组织及力学性能 | 第85-87页 |
| ·MoAlN 薄膜的热稳定性能 | 第87-89页 |
| ·MoAlN 薄膜室温摩擦性能 | 第89-93页 |
| ·结论 | 第93页 |
| ·结论 | 第93-94页 |
| 第6章 Si 对 TiN 及 Mo_2N 基薄膜微观结构及性能的影响 | 第94-103页 |
| ·Si 含量对 TiSiN 薄膜微观组织、力学及摩擦性能的影响 | 第94-98页 |
| ·实验方法 | 第94-95页 |
| ·实验结果及讨论 | 第95-97页 |
| ·TiSiN 薄膜的成分及微观结构 | 第95-97页 |
| ·结论 | 第97-98页 |
| ·Si 含量对 MoTiSiN 薄膜微观组织、力学及摩擦性能的影响 | 第98-102页 |
| ·实验方法 | 第98-99页 |
| ·实验结果及讨论 | 第99-102页 |
| ·MoSiN 薄膜的微观组织 | 第99-101页 |
| ·MoSiN 薄膜的力学及摩擦性能 | 第101-102页 |
| ·结论 | 第102-103页 |
| 结论 | 第103-106页 |
| 参考文献 | 第106-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第116页 |
