基于飞秒激光的光纤微加工基础研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
第1章 绪论 | 第9-15页 |
·课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
·课题研究目的 | 第9-10页 |
·课题研究意义 | 第10页 |
·飞秒激光的国内外发展现状 | 第10-13页 |
·飞秒激光的发展历程 | 第10-11页 |
·飞秒激光微加工的国内外研究现状 | 第11-13页 |
·主要研究内容及创新点 | 第13-15页 |
·主要研究内容 | 第13页 |
·创新点 | 第13-15页 |
第2章 飞秒激光微加工基础 | 第15-24页 |
·飞秒激光微加工系统 | 第15-16页 |
·飞秒激光微加工基本原理 | 第16-19页 |
·微孔的制备原理 | 第19-24页 |
第3章 飞秒激光微加工光纤的加工工艺参数探讨 | 第24-55页 |
·光阑尺寸对微加工的影响 | 第24-26页 |
·焦点位置对微加工的影响 | 第26-28页 |
·激光能量对微加工的影响 | 第28-35页 |
·激光能量与微孔直径的关系 | 第28-29页 |
·激光光斑的理论计算 | 第29-30页 |
·激光光斑的实验计算 | 第30-33页 |
·激光能量与深度的关系 | 第33-35页 |
·重复频率对加工的影响 | 第35-42页 |
·重复频率对形貌的影响 | 第35-38页 |
·脉冲累积系数的计算 | 第38-41页 |
·脉冲数目对刻蚀率的影响 | 第41-42页 |
·脉宽对微加工的影响 | 第42-44页 |
·脉冲作用时间对微加工的影响 | 第44-50页 |
·扫描速度对加工的影响 | 第50-52页 |
·扫描次数对加工的影响 | 第52-53页 |
·本章小结 | 第53-55页 |
第4章 光纤三维微结构制备 | 第55-80页 |
·光纤直孔形成机制及其制备工艺 | 第55-68页 |
·直孔的形成机制 | 第55-56页 |
·光纤烧蚀的形貌分析 | 第56-59页 |
·激光制备微孔的纵切面边界的数学模拟 | 第59-68页 |
·周期性微结构制备 | 第68-73页 |
·微结构参数与加工参数的关系 | 第68-70页 |
·周期性微结构的制备工艺 | 第70-73页 |
·光纤端面微结构制备 | 第73-78页 |
·平头、方头悬臂梁的制备工艺 | 第74-75页 |
·圆头悬臂梁的制备工艺 | 第75-76页 |
·“菲涅尔”环的制备工艺 | 第76-77页 |
·圆锥结构的制备工艺 | 第77-78页 |
·本章小结 | 第78-80页 |
第5章 光纤传感器件的制备实例 | 第80-97页 |
·F-P干涉仪的制备工艺探讨 | 第83-92页 |
·光纤侧面制备F-P干涉仪 | 第87-90页 |
·光纤端面制备F-P干涉仪 | 第90-92页 |
·Michelson干涉仪的制备工艺探讨 | 第92-95页 |
·本章小结 | 第95-97页 |
第6章 总结与展望 | 第97-99页 |
·全文总结 | 第97-98页 |
·前景展望 | 第98-99页 |
致谢 | 第99-100页 |
参考文献 | 第100-105页 |
发表论文及参加科研情况说明 | 第105页 |