制造执行系统快速启动批次出入站点的设计实现
摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-7页 |
第一章 绪论 | 第7-11页 |
·研究背景 | 第7-8页 |
·研究的目的和意义 | 第8页 |
·本文主要内容 | 第8-9页 |
·本文组织结构 | 第9-11页 |
第二章 半导体行业和制造执行系统的研究 | 第11-17页 |
·半导体的生产 | 第11-12页 |
·制造执行系统概述 | 第12-14页 |
·基于半导体行业的MES系统 | 第14-16页 |
·本章小结 | 第16-17页 |
第三章 MES模块的需求分析和设计 | 第17-43页 |
·系统开发平台及相关技术研究 | 第17-25页 |
·WCF通信原理的研究 | 第17-20页 |
·F300系统体系结构 | 第20-23页 |
·SF系统体系结构 | 第23-25页 |
·系统设计 | 第25-41页 |
·操作图形用户界面设计实现 | 第27-30页 |
·MVP模式的设计实现 | 第30-32页 |
·CRM表设计实现 | 第32-33页 |
·WCF通信的设计实现 | 第33-38页 |
·脚本文件的设计实现 | 第38-41页 |
·本章小结 | 第41-43页 |
第四章 MES模块的逻辑实现和测试 | 第43-61页 |
·常规功能模块 | 第43-49页 |
·批次进站模块 | 第43-48页 |
·批次出站模块 | 第48-49页 |
·特殊站点的处理模块 | 第49-56页 |
·批次进入等离子体增强化学气相沉积站点 | 第49-53页 |
·批次出站的返工模块 | 第53-55页 |
·特殊操作的调用模块 | 第55-56页 |
·其他功能模块 | 第56-59页 |
·异常处理和日志记录模块 | 第56-57页 |
·本地化模块 | 第57-59页 |
·测试和改进 | 第59-60页 |
·本章小结 | 第60-61页 |
第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
附录 A 批次入站脚本文件主函数 | 第63-64页 |
附录 B 批次入站类描述符 | 第64-67页 |
致谢 | 第67-69页 |
参考文献 | 第69-71页 |
在读期间科研成果 | 第71-72页 |